Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantalcarbidovertrukket ring

Tantalcarbidovertrukket ring

Som en professionel innovatør og leder af tantalcarbidbelagte ringprodukter i Kina, spiller Vetek Semiconductor tantalcarbidbelagt ring en uerstattelig rolle i SIC -krystalvækst med dens fremragende højtemperaturresistens, slidstyrke og fremragende termisk ledningsevne. Velkommen din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Porøst tantalcarbid

Porøst tantalcarbid

Vetek Semiconductor er en professionel producent og leder af porøse tantalcarbidprodukter i Kina. Porøst tantalcarbid fremstilles normalt ved kemisk dampaflejringsmetode (CVD), hvilket sikrer præcis kontrol af dens porestørrelse og distribution og er et materielt værktøj dedikeret til ekstreme miljøer med høj temperatur. Velkommen din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Guide Ring

TAC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring er skabt ved at påføre tantalcarbid coating på grafitdele ved hjælp af en meget avanceret teknik kaldet kemisk dampaflejring (CVD). Denne metode er veletableret og tilbyder exceptionelle belægningsegenskaber. Ved at bruge TaC Coating Guide Ring kan levetiden for grafitkomponenter forlænges betydeligt, bevægelsen af ​​grafiturenheder kan undertrykkes, og SiC og AIN enkeltkrystalkvaliteten kan opretholdes pålideligt. Velkommen til at forespørge os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalcarbidring

Tantalcarbidring

Som en avanceret producent og producent af tantalcarbidringprodukter i Kina har Vetek Semiconductor tantalcarbidring ekstremt høj hårdhed, slidstyrke, høj temperaturresistens og kemisk stabilitet og er vidt brugt inden for halvlederproduktionsfeltet. Især inden for CVD, PVD, ionimplantationsproces, ætsningsproces og Wafer -behandling og transport er det et uundværligt produkt til halvlederbehandling og fremstilling. Ser frem til din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalcarbid belægningsstøtte

Tantalcarbid belægningsstøtte

Som en professionel producent af tantalcarbide belægningsstøtte-produkt og fabrik i Kina, bruges VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support normalt til overfladebelægning af strukturelle komponenter eller støttekomponenter i halvlederudstyr, især til overfladebeskyttelse af nøgleudstyrskomponenter i halvlederfremstillingsprocesser som f.eks. CVD og PVD. Velkommen til din videre konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalum Carbide Guide Ring

Tantalum Carbide Guide Ring

Vetek Semiconductor er en professionel producent og leder af Tantalum Carbide Guide Ring Products i Kina. Vores tantalcarbid (TAC) guide ring er en højtydende ringkomponent lavet af tantalcarbid, som ofte bruges i halvlederforarbejdningsudstyr, især i høj-temperatur og stærkt ætsende miljøer såsom CVD, PVD, ætsning og diffusion. Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien og byder dine yderligere undersøgelser velkommen.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Principper og teknologi til fysisk dampaflejringsbelægning (1/2) - Vetek Semiconductor
Principper og teknologi til fysisk dampaflejringsbelægning (1/2) - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvad er Semiconductor Epitaxy Process?
Hvad er Semiconductor Epitaxy Process?Se mere >>
Diamant - den fremtidige stjerne af halvledere
Diamant - den fremtidige stjerne af halvledereSe mere >>
Hvad er forskellen mellem CVD TAC og sintret TAC?
Hvad er forskellen mellem CVD TAC og sintret TAC?Se mere >>
Rul op! To store producenter er ved at masseproducere 8-tommer siliciumcarbid
Rul op! To store producenter er ved at masseproducere 8-tommer siliciumcarbidSe mere >>
Baseret på 8-tommer siliciumcarbid enkelt krystalvækstovnsteknologi
Baseret på 8-tommer siliciumcarbid enkelt krystalvækstovnsteknologiSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept