Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Gan Epitaxy Undertaker

Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor er et kinesisk firma, der er en producent af verdensklasse og leverandør af GaN Epitaxy Sceptor. Vi har arbejdet i halvlederindustrien, såsom siliciumcarbidbelægninger og GaN -epitaxy -følsomhed i lang tid. Vi kan give dig fremragende produkter og gunstige priser. Vetek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coated Wafer Sceptor

TAC Coated Wafer Sceptor

Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Sceptor er en grafitbakke belagt med tantalcarbid til siliciumcarbidepitaksial vækst for at forbedre skivkvaliteten og ydeevnen. Vetek er valgt på grund af sin avancerede coating -teknologi og holdbare løsninger for at sikre fremragende SIC -epitaksresultater og udvidet følsomhedsliv, velkommen dine yderligere forespørgsler.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Guide Rings

TAC Coating Guide Rings

Som en førende producent af TAC Coating Guide Rings -produkter i Kina er Vetek Semiconductor TAC Coated Guide Rings vigtige komponenter i MOCVD -udstyr, hvilket sikrer nøjagtig og stabil gaslevering under epitaksial vækst og er et uundværligt materiale i halvlederpitaksial vækst. Velkommen til at konsultere os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalcarbidovertrukket ring

Tantalcarbidovertrukket ring

Som en professionel innovatør og leder af tantalcarbidbelagte ringprodukter i Kina, spiller Vetek Semiconductor tantalcarbidbelagt ring en uerstattelig rolle i SIC -krystalvækst med dens fremragende højtemperaturresistens, slidstyrke og fremragende termisk ledningsevne. Velkommen din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Porøst tantalcarbid

Porøst tantalcarbid

Vetek Semiconductor er en professionel producent og leder af porøse tantalcarbidprodukter i Kina. Porøst tantalcarbid fremstilles normalt ved kemisk dampaflejringsmetode (CVD), hvilket sikrer præcis kontrol af dens porestørrelse og distribution og er et materielt værktøj dedikeret til ekstreme miljøer med høj temperatur. Velkommen din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Guide Ring

TAC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring er skabt ved at påføre tantalcarbid coating på grafitdele ved hjælp af en meget avanceret teknik kaldet kemisk dampaflejring (CVD). Denne metode er veletableret og tilbyder exceptionelle belægningsegenskaber. Ved at bruge TaC Coating Guide Ring kan levetiden for grafitkomponenter forlænges betydeligt, bevægelsen af ​​grafiturenheder kan undertrykkes, og SiC og AIN enkeltkrystalkvaliteten kan opretholdes pålideligt. Velkommen til at forespørge os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Hvad er forskellen mellem siliciumcarbid og tantalcarbidbelægninger?
Hvad er forskellen mellem siliciumcarbid og tantalcarbidbelægninger?Se mere >>
Porøst tantalcarbid: En ny generation af materialer til SiC-krystalvækst
Porøst tantalcarbid: En ny generation af materialer til SiC-krystalvækstSe mere >>
Hvad er den specifikke anvendelse af TAC -coatede dele i halvlederfeltet?
Hvad er den specifikke anvendelse af TAC -coatede dele i halvlederfeltet?Se mere >>
Hvilket måleudstyr er der i Fab Factory? - Vetek Semiconductor
Hvilket måleudstyr er der i Fab Factory? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Dåse isotropisk grafit modstå ekstrem varme i høje temperaturovne
Dåse isotropisk grafit modstå ekstrem varme i høje temperaturovneSe mere >>
Rul op! To store producenter er ved at masseproducere 8-tommer siliciumcarbid
Rul op! To store producenter er ved at masseproducere 8-tommer siliciumcarbidSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept