Tac coated ring

Veteksemi TAC Coated Ring er en høj ydeevne komponent skræddersyet til halvlederproduktionsprocesser. Dens unikt designede Tantalum Carbide (TAC) -belægning giver produktet fremragende høj temperaturresistens, korrosionsbestandighed og mekanisk stabilitet, hvilket forbedrer levetiden og pålideligheden af ​​grafitkomponenter i halvlederudstyr.

Overlegen ydeevne af tantalcarbidbelægninger ：

● Ultrahøj temperaturmodstand: TAC-belægninger kan let modstå ekstreme temperaturer på op til 2200 ° C og forblive stabile under termiske chokmiljøer, der er almindelige i halvlederproduktionen.

● Fremragende kemisk stabilitet: belægningen viser stærk modstand mod almindelige ætsende gasser såsom brint, ammoniak, silan og silicium, hvilket effektivt beskytter underlaget mod kemisk angreb.

● Fremragende mekaniske egenskaber: TAC -belægning har høj hårdhed, høj slidstyrke og god termisk stødmodstand og kan operere stabilt i lang tid under barske arbejdsforhold.

● Fremragende vedhæftning: Belægningen er tæt bundet til grafitsubstratet, hvilket effektivt forhindrer, at belægningen afskrækkes og sikrer ensartet ydelse i hele produktets levetid.

● Høj renhed: TAC -belægningen udarbejdet af CVD har ekstremt høj renhed, hvilket minimerer introduktionen af ​​urenheder og giver et rent procesmiljø til fremstilling af halvleder.

Fordele ved tantalcarbidbelagte ringe:

● Levetid for udvidet udstyr: TAC -belægning blokerer effektivt kemiske reaktioner og urenhedsdiffusion, hvilket markant forlænger levetiden for grafitkomponenter og reducerer vedligeholdelsesomkostninger markant.

● Forbedre produktionseffektiviteten: Produktets høje temperaturresistens og korrosionsmodstand gør det muligt for det at fungere under mere krævende forhold, forkorte produktionscyklussen og øget produktionskapacitet.

● Forbedret produktkvalitet: TAC -belægning med høj renhed hjælper med at reducere forurening, hvilket sikrer kvaliteten og konsistensen af ​​halvlederprodukter.

Vetek Semiconductor er specialiseret i TAC -belægningsprodukter såsomTAC -belægning Chuck, TAC Coating Rotation Plate, TAC -belægningssubser, TAC Coated Wafer Sceptori mange år. Vores TAC -coatede ringprodukter har funktionerne i udvidet udstyrs levetid, forbedret produktionseffektivitet og forbedret produktkvalitet. På samme tid har Vetek Semiconductor længe været forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. 

På grund af de forskellige kemiske egenskaber ved grafit- og tantalcarbidmaterialer, vil koefficienten for termisk ekspansion ikke matche, og det er let at blive opvarmet ved høj temperatur af Vetek Semiconductor gennem en specifik proces for at fremme dannelsen af ​​tantalcarbidbelægning, der delvis er afsat på overfladen af ​​matrixen og delvis trængt ind i grafititmatrixen. På denne måde er tantalcarbidbelægningen tæt indlejret i grafitmatrixen gennem vækst in-situ, hvilket markant øger bindingskraften mellem belægningen og matrixen og effektivt forhindrer skrælning af tantalcarbidbelægningen. Vi håber at blive din langvarige partner i Kina.

Tantalcarbidbelagte ringe butikker: