Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantalcarbid belagt porøs grafit

Tantalcarbid belagt porøs grafit

Tantalcarbidbelagt porøs grafit er et uundværligt produkt i halvlederforarbejdningsprocessen, især i SIC -krystalvækstprocessen. Efter kontinuerlige F & U -investerings- og teknologiopgraderinger har Vetek Semiconductors TAC Coated Porous Graphite Product Quality vundet stor ros fra europæiske og amerikanske kunder. Velkommen til din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
CVD TAC Coating Planetary Sic Epitaxial Sceptor

CVD TAC Coating Planetary Sic Epitaxial Sceptor

CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor er en af ​​kernekomponenterne i MOCVD planetreaktor. Gennem CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor roterer den store skive og den lille skive, og den horisontale strømningsmodel udvides til multi-chip maskiner, så den har både højkvalitets epitaksial bølgelængde ensartethed styring og defekt optimering af enkelt -chip-maskiner og produktionsomkostningsfordelene ved multi-chip-maskiner.VeTek Semiconductor kan give kunderne meget tilpasset CVD TaC-belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor. Hvis du også vil lave en planetarisk MOCVD-ovn som Aixtron, så kom til os!
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tac coated ring

Tac coated ring

Som en førende producent og leverandør af TAC -coatede ringprodukter i Kina har Vetek Semiconductor fokuseret på F & U og produktion af forskellige TAC -belægningsprodukter. Som de vigtigste kunder i TAC -belægningsprodukter har europæiske og amerikanske producenter givet vores belægningsprodukter stor ros. Velkommen til din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Gan Epitaxy Undertaker

Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor er et kinesisk firma, der er en producent af verdensklasse og leverandør af GaN Epitaxy Sceptor. Vi har arbejdet i halvlederindustrien, såsom siliciumcarbidbelægninger og GaN -epitaxy -følsomhed i lang tid. Vi kan give dig fremragende produkter og gunstige priser. Vetek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coated Wafer Sceptor

TAC Coated Wafer Sceptor

Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Sceptor er en grafitbakke belagt med tantalcarbid til siliciumcarbidepitaksial vækst for at forbedre skivkvaliteten og ydeevnen. Vetek er valgt på grund af sin avancerede coating -teknologi og holdbare løsninger for at sikre fremragende SIC -epitaksresultater og udvidet følsomhedsliv, velkommen dine yderligere forespørgsler.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Guide Rings

TAC Coating Guide Rings

Som en førende producent af TAC Coating Guide Rings -produkter i Kina er Vetek Semiconductor TAC Coated Guide Rings vigtige komponenter i MOCVD -udstyr, hvilket sikrer nøjagtig og stabil gaslevering under epitaksial vækst og er et uundværligt materiale i halvlederpitaksial vækst. Velkommen til at konsultere os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Anvendelse og forskning af siliciumcarbidkeramik inden for fotovoltaik - Vetek Semiconductor
Anvendelse og forskning af siliciumcarbidkeramik inden for fotovoltaik - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvor meget ved du om CVD SIC? - Vetek Semiconductor
Hvor meget ved du om CVD SIC? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvad er trinstyret epitaksial vækst?
Hvad er trinstyret epitaksial vækst?Se mere >>
Hvad er hot presset sic keramik?
Hvad er hot presset sic keramik?Se mere >>
Hvad er en kvartsbåd?
Hvad er en kvartsbåd?Se mere >>
Materiale af siliciumcarbidepitaxy
Materiale af siliciumcarbidepitaxySe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept