Tantalcarbid belægning

Den porøse TaC-belagte grafitring produceret af VETEK bruger et letvægts porøst grafitsubstrat og er belagt med en højrent tantalcarbidbelægning, som har fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer, ætsende gasser og plasmaerosion

Vores TAC-coatede grafitguideringe er præcisionskernekomponenter til fremstilling af halvlederskive. De har et grafitunderlag med høj renhed, der er coatet med en slidbestandig og kemisk inert tantalcarbid (TAC) belægning. De er designet til krævende processer såsom epitaksial afsætning og plasma -ætsning, og de sikrer præcis waferjustering og stabilitet, kontrollerer effektivt kontaminering og udvider komponentens levetid markant. Veteksemicon tilbyder tilpasningstjenester til perfekt at matche dit udstyr og procesbehov.

Som en af ​​de førende TAC-belægningsproduktleverandører i Kina er Vetek Semiconductor i stand til at give kunderne TAC-coating-dele af høj kvalitet. TAC Coated Ring til PVT -vækst af Sic Single Crystal er en af ​​Vetek Semiconductors mest fremragende og modne produkter. Det spiller en vigtig rolle i PVT-væksten af ​​SIC-krystalprocessen og kan hjælpe kunderne med at vokse SIC-krystaller af høj kvalitet. Ser frem til din forespørgsel.

Vetek Semiconductor har oplevet mange års teknologisk udvikling og har mestret den førende processteknologi ved CVD TAC -belægning. CVD TAC-coated tre-petal guide ring er en af ​​Vetek Semiconductors mest modne CVD TAC-belægningsprodukter og er en vigtig komponent til fremstilling af SIC-krystaller ved PVT-metode. Ved hjælp af Vetek Semiconductor tror jeg, at din SIC -krystalproduktion vil være glattere og mere effektiv.

Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Ring er en uundværlig komponent i halvlederindustrien, specifikt i ætsningen af ​​SIC Wafers. Dens kombination af en grafitbase og TAC-belægning sikrer overlegen ydeevne i høj temperatur og kemisk aggressive miljøer. Med sin forbedrede termiske stabilitet, korrosionsbestandighed og mekanisk styrke hjælper tantalcarbidbelagt ring med halvlederproducenter med at opnå præcision, pålidelighed og resulterer i høj kvalitet i deres produktionsprocesser.

TaC Coating Ring er en højtydende komponent designet til brug i halvlederprocesser, VeTek semiconductor TaC Coating Ring har høj termisk stabilitet, modstandsdygtighed over for kemisk korrosion og fremragende mekanisk styrke og bruges specifikt til at holde og understøtte SiC wafers under ætseprocessen, hvor præcis kontrol og holdbarhed er afgørende for at opnå højkvalitets wafers. vi ser frem til din videre konsultation.