TAC Coated Graphite Guide Ring

TAC (tantalcarbid) coated grafitguide ring er en kritisk komponent, der bruges i halvlederfremstilling, specifikt i processer som epitaksial afsætning og plasma -ætsning. Disse ringe er designet til sikkert at holde og placere siliciumskiver, hvilket sikrer præcis justering og stabilitet under høj temperatur og barske kemiske miljøer. Vores guideringe er konstrueret til at imødekomme de strenge krav til moderne halvlederfremstilling, hvilket hjælper med at forbedre procesudbyttet og skivkvaliteten.

Materialesammensætning og fysiske egenskaber

Kernen i vores TAC Coated Graphite Guide Ring er en grafitring med høj renhed, som derefter er belagt med et lag tantalcarbid (TAC).

Grafitsubstrat:

Grafitten giver flere vigtige fordele. Det har fremragende termisk stabilitet og modstår deformation ved de høje temperaturer, der er almindelige i halvlederforarbejdning. Dens lette natur minimerer termisk masse, hvilket muliggør hurtig opvarmnings- og afkølingscyklusser. Grafit med høj renhed forhindrer også kontaminering af proceskammeret.

CVD TAC -belægning:

Tantalumcarbidbelægningen er nøglen til ringens overlegne ydelse. TAC er et ekstremt hårdt keramisk materiale, der tilbyder enestående slidstyrke og kemisk inertitet. Det beskytter den underliggende grafit mod aggressivt plasma og ætsende gasser, der markant forlænger ringens levetid. Denne belægning forhindrer også partikler i at kaste, hvilket er afgørende for at opretholde et rent procesmiljø og forebygge defekter på skiveoverfladen.

Vejledningsrollen i Wafer Processing

Vores TAC Coated Guide Ring spiller en vigtig rolle i at sikre kvaliteten og effektiviteten af ​​halvlederfremstilling.

● Wafer -justering og stabilitet: Under epitaksial vækst eller ætsning holder styringringen skiven i en præcis position. Dette forhindrer skiven i at skifte, hvilket er vigtigt for ensartet lagaflejring og nøjagtig mønsteroverførsel over hele skivens overflade.

● Termisk styring: De termiske egenskaber af grafit- og tantalcarbidbelægningen muliggør effektiv varmefordeling og styring. Dette er kritisk for at opretholde en ensartet temperaturprofil over skiven, hvilket er nødvendigt for ensartet filmtykkelse og materialegenskaber.

● Forureningskontrol: Materialer med høj renhed og den holdbare TAC-belægning minimerer partikelgenerering og outgassing. Dette reducerer risikoen for skiveforurening og defekter, hvilket fører til højere enhedsudbytte og pålidelighed.

● Udvidet komponent levetid: Den robuste tantalcarbidbelægning giver fremragende modstand mod plasma erosion og kemisk angreb. Dette udvider styringens operationelle levetid, reducerer vedligeholdelsens nedetid og sænker de samlede ejerskabsomkostninger.