CVD TaC belagt grafitring

Generel produktinformation

Produkt forretningsbetingelser

Anvendelse: Veteksemicon CVD TaC Coated Ring er specielt udviklet tilSiC krystal vækstprocesser. Som en vigtig belastningsbærende komponent i højtemperaturreaktionskammeret isolerer dens unikke TaC-belægning effektivt siliciumdampkorrosion, forhindrer kontaminering af urenheder og sikrer strukturel stabilitet i langsigtede højtemperaturmiljøer, hvilket giver en pålidelig garanti for opnåelse af krystaller af høj kvalitet.

Tjenester, der kan leveres: kundeapplikationsscenarieanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Virksomhedsprofile：Veteksemicon har 2 laboratorier, et team af eksperter med 20 års materialeerfaring, med R&D og produktions-, test- og verifikationskapaciteter.

Min rival CVD TaC Coated Ring er et kerneforbrugsstof designet til højtemperatur kemisk dampaflejring og krystalvækst af avancerede halvledermaterialer, især siliciumcarbid. Vi bruger en unik, optimeret kemisk dampaflejringsteknologi til at afsætte en tæt, ensartettantalcarbid belægningpå et højrent grafitsubstrat. Med enestående højtemperaturbestandighed, fremragende korrosionsbestandighed og en ekstremt lang levetid beskytter dette produkt effektivt krystalkvaliteten og reducerer dine samlede produktionsomkostninger betydeligt, hvilket gør det til et væsentligt valg til processer, der kræver processtabilitet og det højeste udbytte.

Tekniske parametre:

Min rival CVD TaC Coated Ring kernefordele

Uovertruffen renhed og stabilitet

I det ekstreme miljø med SiC-krystalvækst, hvor temperaturer overstiger 2000°C, kan selv sporurenheder ødelægge hele krystallens elektriske egenskaber. VoresCVD TaC belægning, med sin exceptionelle renhed, eliminerer fundamentalt kontaminering fra ringen. Ydermere sikrer dens fremragende højtemperaturstabilitet, at belægningen ikke nedbrydes, fordamper eller reagerer med procesgasser under længerevarende højtemperatur- og termiske cyklusser, hvilket giver et rent og stabilt dampfasemiljø til krystalvækst.

Fremragende korrosion ogerosionsbestandighed

Korrosion af grafit med siliciumdamp er den primære årsag til svigt og partikelforurening i traditionelle grafitringe. Vores TaC-belægning, med sin ekstremt lave kemiske reaktivitet med silicium, blokerer effektivt siliciumdampe og beskytter det underliggende grafitsubstrat mod erosion. Dette forlænger ikke kun selve ringens levetid markant, men, endnu vigtigere, reducerer det partikelmateriale, der genereres af substratkorrosion og afskalning, markant, hvilket direkte forbedrer krystalvækstudbyttet og den indre kvalitet.

Fremragende mekanisk ydeevne og levetid

TaC-belægningen dannet af CVD-processen har ekstrem høj densitet og Vickers hårdhed, hvilket gør den ekstremt modstandsdygtig over for slid og fysisk påvirkning. I praktiske applikationer kan vores produkter forlænge levetiden med 3 til 8 gange sammenlignet med traditionelle grafitringe eller pyrolytiske kul-/siliciumcarbidringe. Dette betyder mindre nedetid til udskiftning og højere udstyrsudnyttelse, hvilket væsentligt reducerer de samlede omkostninger ved produktion af enkeltkrystal.

Fremragende belægningskvalitet

Ydeevnen af ​​en belægning er meget afhængig af dens ensartethed og bindingsstyrke. Vores optimerede CVD-proces gør det muligt for os at opnå meget ensartet belægningstykkelse på selv de mest komplekse ringgeometrier. Endnu vigtigere er det, at belægningen danner en stærk metallurgisk binding med grafitsubstratet med høj renhed, hvilket effektivt forhindrer afskalning, revner eller afskalning forårsaget af forskelle i termiske udvidelseskoefficienter under hurtige opvarmnings- og afkølingscyklusser, hvilket sikrer fortsat pålidelig ydeevne gennem hele produktets livscyklus.

Økologisk kæde verifikation påtegning

Min rival CVD TaC Coated Ring' økologiske kædeverifikation dækker råmaterialer til produktion, har bestået international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed inden for halvleder- og nye energiområder.

For detaljerede tekniske specifikationer, hvidbøger eller prøveafprøvningsarrangementer, venligstkontakt vores tekniske supportteamat udforske, hvordan Veteksemicon kan forbedre din proceseffektivitet.