Høj renhed kvarts wafer båd

VeTek Semiconductors High Purity Quartz Wafer Boat er lavet af ultra-høj renhed kvarts, som har egenskaberne med lavt hydroxylindhold, høj renhed og stærk højtemperaturbestandighed. Dette materiale er også meget udbredt i halvlederindustrien som materiale til diffusionsovne og CVD-ovnskomponenter. Som en beholder til at bære siliciumwafers, er High Purity Quartz-bådwafer blevet brugt i halvleder-, solcelle-, kemiske og andre områder.

Applikationsscenarier

Først er halvlederfeltet. Varmebehandlingsprocessen for skiver er meget vigtig, herunder termisk oxidation, diffusion, udglødning osv. Gennem varmebehandlingsprocessen giver vi skiver nye egenskaber.

Batchovnens kernerør bruges til behandlingsprocesser med halvlederskive, såsom termisk oxidation, høj temperaturdiffusion, udglødning og tyndfilmaflejring. Batchopvarmningsovnen bruges hovedsageligt til at opvarme ovnlegemet ved spoler for at afslutte varmebehandlingen. I henhold til de forskellige arbejdstrukturer kan batchovnens kernerør opdeles i vandrette ovne og lodrette ovne:

(1) Kvartsvaffelbåden med høj renhed i den horisontale ovn er placeret vandret, så den kaldes en horisontal ovn.

I varmebehandlingsprocessen bliver waferen læsset på High purity Quartz Wafer Boat, langsomt sendt ind i kvartsovnsrøret, og waferen placeres i en konstant temperaturzone til behandling. Efter at have ventet på, at processen er afsluttet, trækkes Wafer brugte kvartsbåd langsomt ud af kvartsovnen for at forhindre, at waferen bliver beskadiget på grund af pludselige temperaturændringer. Horisontale ovne er meget udbredt i diffusionsprocessen af ​​integrerede kredsløb med waferdiametre mindre end 200 mm. 

Fordelene ved vandrette ovne er enkel proces, god ensartethed mellem skivere og evnen til at behandle flere skivere på samme tid. Ulemperne er langsom opvarmningshastighed, stor udstyrsstørrelse, vanskeligheder i automatisering og let indførelse af ekstern luft ved indlæsning og losning af skiver.

(2) High Purity Quartz Wafer Boat i den lodrette ovn er placeret lodret, så det kaldes en lodret ovn.

Waferen sættes på kvartstårnet og stiger langsomt til kvartsovnsrøret for opvarmning. Under opvarmningsprocessen vil High Purity Quartz Wafer Boat langsomt rotere for at sikre, at waferen opvarmes jævnt. Efter forarbejdning vil kvartstårnet langsomt falde for at undgå temperaturændringer, der kan forårsage waferskader. Lodrette ovne bruges hovedsageligt i den integrerede kredsløbsproces af 200 mm og 300 mm diameter wafers. Kerneteknologien i vertikale ovne ligger i højpræcisions temperaturfeltkontrol, partikelkontrol, mikro-miljø mikro-ilt kontrol og motorisering. Fordelene ved vertikale ovne er tyndt naturligt oxidlag, god ensartethed, lettere automatisering, lille udstyrsfodaftryk og batchbehandling. Ulempen er, at opvarmningshastigheden er langsom.

I det fotovoltaiske felt kræver produktionsprocessen for fotovoltaiske celler kvartsbåde til at transportere og transportere siliciumskiver i højtemperaturdiffusionsprocessen. Højtemperaturbehandling i en nitrogen med høj renhed, ilt eller anden inert gasatmosfære, såsom fosfordiffusion eller bordiffusion, er et vigtigt trin i fremstillingsprocessen for solceller. Formålet er at danne et PN -kryds på siliciumskiven.

Kvartsbåden har nøjagtigt designet slots inde for at sikre, at siliciumskiven opretholder den nøjagtige position under diffusionsprocessen med høj temperatur og opvarmes jævnt. Fordi kvartsmaterialet har god høj temperaturresistens og kemisk stabilitet, vil det ikke forurene siliciumskiven, som er befordrende for at opretholde en høj renlighed af produktionsmiljøet.

Som innovatør og leder i Kinas Wafer brugte kvartsbådmarked, uanset om du er engageret i halvlederindustrien eller den fotovoltaiske industri, så længe du har brug for høj renhedskvarts waferbåd, bedes du bede os om et tilbud, og vi vil være i stand til at skræddersy Det for dig efter dine behov.

VeTek Semiconductor varer butikker: