CVD Sic Coating Graphite Sceptor

CVD SIC Coating Graphite Sceptor er specielt designet til fremstilling af høj præcision i halvlederindustrien. Grafitsubstratet er belagt med et SIC-lag med høj renhed ved CVD-processen, som har fremragende høj temperaturresistens, korrosionsbestandighed og oxidationsmodstand og kan fungere stabilt i lang tid i høje temperatur- og vakuummiljøer. Denne piedestal er vidt brugt i MOCVD, PECVD, PVD og andet udstyr til understøttelse af behandling og håndtering af skiver og andre højpræcisionsmaterialer.

Kernefordele:

● Stabilitet i høj temperatur: Grafit med høj renhed har i sig selv fremragende termisk stabilitet. Efter at have været coatet med SIC -belægning, kan den modstå ekstreme miljøer med højere temperatur og er velegnet til processer med høj temperatur i halvlederforarbejdning.

● Hjørneionmodstand: CVD SIC -belægning er resistent over for syre- og alkali -korrosion og kan have en lang levetid i CVD -processen.

● Høj hArdness og oxidationsmodstand: CVD SIC -belægning har fremragende hårdhed, ridsemodstand og oxidationsmodstand ved høje temperaturer for at bevare materialets stabilitet.

● God termisk ledningsevne: Kombinationen af ​​grafitsubstrat og CVD SIC -belægningssceptor får basen til at have fremragende termisk ledningsevne, hvilket effektivt kan udføre varme og forbedre produktionseffektiviteten.

Produktspecifikationer:

● Materiale: grafitsubstrat + CVD sic coating

● Belægningstykkelse: kan tilpasses i henhold til kundens behov

● Relevant miljø: høj temperatur, vakuum, ætsende gasmiljø

Tilpasset service:

Vi leverer meget tilpassede tjenester til at imødekomme behovene hos kundernes forskellige udstyr og processer. I henhold til kundens specifikke anvendelse kan grafitbaser med forskellige belægningstykkelser, overfladebehandlinger og præcisionsniveauer leveres.

Veteksemi har altid arbejdet i CVD-siliciumcarbidbelægningsindustrien og har den brancheførende CVD SIC Coating Graphite Base Production and Manufacturing Level. Hvis du har brug for flere produktoplysninger eller tilpassede tjenester, bedes du kontakte Vetek Semiconductor, vi vil helhjertet give dig professionel support.

SEM -data fra CVD Sic Film Crystal Structure:

Det halvlederCVD SIC Coating Graphite Sceptor Product Shops: