CVD SiC belægning grafit susceptor

CVD SiC coating grafit susceptor er specielt designet til højpræcisionsfremstilling i halvlederindustrien. Grafitsubstratet er belagt med et højrent SiC-lag ved CVD-processen, som har fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og oxidationsbestandighed og kan fungere stabilt i lang tid i højtemperatur- og vakuummiljøer. Denne piedestal er meget udbredt i MOCVD, PECVD, PVD og andet udstyr til at understøtte forarbejdning og håndtering af wafers og andre højpræcisionsmaterialer.

Kernefordele:

● Høj temperatur stabilitet: Grafit med høj renhed har i sig selv fremragende termisk stabilitet. Efter at være blevet belagt med SiC-belægning, kan den modstå ekstreme miljøer med højere temperaturer og er velegnet til højtemperaturprocesser i halvlederbearbejdning.

● Corrosionmodstand: CVD SiC-belægning er modstandsdygtig over for syre- og alkalikorrosion og kan have en lang levetid i CVD-processen.

● Høj hhårdhed og oxidationsbestandighed: CVD SiC-belægning har fremragende hårdhed, ridsebestandighed og oxidationsbestandighed ved høje temperaturer for at opretholde materialets stabilitet.

● God varmeledningsevne: Kombinationen af ​​grafitsubstrat og CVD SiC-belægningssusceptor gør, at basen har fremragende termisk ledningsevne, som effektivt kan lede varme og forbedre produktionseffektiviteten.

Produktspecifikationer:

● Materiale: grafitsubstrat + CVD SiC-belægning

● Belægningstykkelse: kan tilpasses efter kundens behov

● Anvendeligt miljø: høj temperatur, vakuum, ætsende gasmiljø

Tilpasset service:

Vi leverer meget tilpassede tjenester for at imødekomme behovene for kundernes forskellige udstyr og processer. I henhold til kundens specifikke anvendelse kan der leveres grafitbaser med forskellige belægningstykkelser, overfladebehandlinger og præcisionsniveauer.

VeTekSemi har altid arbejdet i CVD-siliciumcarbidbelægningsindustrien og har det brancheførende CVD SiC-belægningsgrafitbaserede produktions- og produktionsniveau. Hvis du har brug for mere produktinformation eller tilpassede tjenester, bedes du kontakte VeTek Semiconductor, vi vil helhjertet give dig professionel support.

SEM DATA FOR CVD SIC FILM KRYSTAL STRUKTUR:

VeTek SemiconductorCVD SiC belægning grafit susceptor produktbutikker: