Sic Coating Halfmoon Graphite Parts

I reaktionskammeret i SiC-epitaksialvækstovnen er SiC-belægningen Halfmoon-grafitdele nøglekomponenter til optimering af gasstrømfordeling, termisk feltkontrol og ensartethed i reaktionsatmosfæren. De er normalt lavet af SiC-belægninggrafit, designet i en halvmåneform, placeret i de øvre og nedre grafitdele af reaktionskammeret, der omgiver substratområdet.

    •Øvre halvmåne grafitdel: installeret i den øverste del af reaktionskammeret, nær gasindløbet, der er ansvarlig for at guide reaktionsgassen til at strømme mod underlagsoverfladen.

    •Lavere halvmon grafitdel: Beliggende i bunden af ​​reaktionskammeret, normalt under substratholderen, bruges til at kontrollere gasstrømningsretningen og optimere det termiske felt og gasfordeling i bunden af ​​underlaget.

I løbet afSIC Epitaxy Process, den øverste halvmåne-grafitdel hjælper med at guide gasstrømmen til at blive jævnt fordelt på underlaget, hvilket forhindrer, at gassen direkte påvirker substratoverfladen og forårsager lokal overophedning eller luftstrøms turbulens. Den nedre halvmåne-grafit-del gør det muligt for gassen at strømme glat gennem underlaget og derefter udledes, mens den forhindrer turbulens i at påvirke vækstens ensartethed i det epitaksiale lag.

Med hensyn til termisk feltregulering ， sic coating halfmoon grafitdele hjælper med jævnt at fordele varmen i reaktionskammeret gennem form og position. Den øverste halvmongrafit -del kan effektivt afspejle den strålende varme i varmelegemet for at sikre, at temperaturen over underlaget er stabil. Den nedre halvmåne-grafitdel har også en lignende rolle, hvilket hjælper med at fordele varmen jævnt under underlaget gennem varmeledning for at forhindre overdreven temperaturforskelle.

SiC-belægningen gør komponenterne modstandsdygtige over for høje temperaturer og termisk ledende, så VeTek Semiconductors halvmånedele har en lang levetid. Vores halvmånegrafitdele til SiC-epitaksi er omhyggeligt designet og kan integreres problemfrit i mange epitaksiale reaktorer, hvilket hjælper med at forbedre den overordnede effektivitet og pålidelighed af halvlederfremstillingsprocessen. Uanset hvad din SiC-belægning Halfmoon-grafitdele har brug for, bedes du kontakte VeTek Semiconductor.

WatersemiSic Coating Halfmoon Graphite Parts Shops: