Siliciumcarbid Focus ring

Generel produktinformation

Produkt forretningsbetingelser

Anvendelse: I halvleder-tørætsningsprocesser er fokusringen en nøglekomponent, der sikrer procesensartethed. Det omgiver waferen tæt og ved præcist at kontrollere fordelingen af ​​plasma ved waferens kanter bestemmer den direkte ensartetheden og konsistensen af ​​ætseprocessen, hvilket gør den til en uundværlig del af garantien for spånudbytte.

Tjenester, der kan leveres: analyse af kundeapplikationsscenarier, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Virksomhedsprofil: Veteksemicon har 2 laboratorier, et team af eksperter med 20 års materialeerfaring, med R&D og produktions-, test- og verifikationskapaciteter.

Tekniske parametre

Min rival fokusring kernefordele

1. Enestående materialevidenskab, født til barske miljøer

Vores udvalgte siliciumcarbidmateriale med høj renhed og høj densitet kan nemt modstå det intense plasmabombardement og fluorholdige kemiske gaskorrosion under SiC-ætningsprocessen. Dens fremragende korrosionsbestandighed udmønter sig direkte i en længere levetid og lavere komponentudskiftningsfrekvens, hvilket ikke kun reducerer nedetiden for udstyr, men reducerer også betydeligt risikoen for partikelforurening forårsaget af komponentslid, hvilket giver dig langsigtet og stabil omfattende omkostningseffektivitet.

2. Præcis ingeniørdesign sikrer ensartet proces

Hver Veteksemicon fokusring gennemgår ultra-præcision CNC-bearbejdning for at sikre, at nøgledimensioner såsom fladhed, indvendig diameter og trinhøjde opnår nøjagtighed på mikronniveau, hvilket sikrer perfekt matchning med originaludstyrsproducenten (OEM). Vores ingeniørteam optimerer profilen yderligere ved hjælp af plasmasimulering. Dette design styrer effektivt det elektriske felt og reducerer unormal ætsning ved waferens kanter og kontrollerer dermed ætsningens ensartethed af hele waferen til et ekstremt niveau.

3. Pålidelig ydeevne forbedrer produktionseffektiviteten

I krævende masseproduktionsmiljøer realiseres den fulde værdi af vores produkter. Ved at sikre koncentreret og stabil plasmafordeling bidrager Veteksemicon-fokusringen direkte til forbedret ensartethed af ætsningshastigheden og optimeret batch-til-batch-procesgentagelighed. Dette betyder, at din produktionslinje konsekvent kan levere højtydende produkter, samtidig med at den drager fordel af længere vedligeholdelsescyklusser, hvilket effektivt reducerer omkostningerne til forbrugsvarer pr. wafer og giver dig en betydelig konkurrencefordel.

4. Økologisk kædeverifikationspåtegning

Min rival focus ring' økologiske kædeverifikation dækker råmaterialer til produktion, har bestået international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed inden for halvleder- og nye energiområder.

For detaljerede tekniske specifikationer, hvidbøger eller prøvetestarrangementer, kontakt venligst vores tekniske supportteam for at udforske, hvordan Veteksemicon kan forbedre din proceseffektivitet.

Min rival produkter butik