MOCVD SiC Coated Susceptor

Tekniske parametre

CVD SIC FILM KRYSTAL STRUKTUR

Produktdefinition og sammensætning

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor er en førsteklasses wafer-bærende komponent udviklet specifikt til epitaksial behandling af tredje generations halvledere, såsom GaN og SiC. Dette produkt integrerer de overlegne fysiske egenskaber af to højtydende materialer:

Grafitsubstrat med høj renhed: Fremstillet ved hjælp af isostatisk presseteknologi for at sikre, at basismaterialet besidder enestående strukturel integritet, høj densitet og termisk behandlingsstabilitet.

CVD SiC belægning: Et tæt, spændingsfrit siliciumcarbid (SiC) beskyttende lag dyrkes på grafitoverfladen gennem avanceret Chemical Vapor Deposition (CVD) teknologi.

Hvorfor VETEK er din udbyttegaranti

Ultimativ præcision i termisk ensartethedskontrol: I modsætning til konventionelle bærere opnår VETEK-susceptorer højsynkroniseret varmeoverførsel over hele overfladen gennem nanometerskala præcisionskontrol af belægningstykkelse og termisk modstand. Denne sofistikerede termiske styring minimerer effektivt bølgelængdestandardafvigelse (STD) på waferoverfladen, hvilket øger både kvaliteten af ​​enkelt wafer og den samlede batch-konsistens markant.

Langtidsbeskyttelse uden partikelforurening: I MOCVD-reaktionskamre, der indeholder stærkt ætsende gasser, er almindelige grafit-sokler tilbøjelige til at partikelflager. VETEKs CVD SiC-belægning besidder enestående kemisk inertitet, der fungerer som et uigennemtrængeligt skjold, der forsegler grafitmikroporer. Dette sikrer total isolering af substraturenheder, hvilket forhindrer enhver forurening af GaN- eller SiC-epitaksiallagene.

Enestående træthedsmodstand og levetid:Takket være VETEKs proprietære grænsefladebehandlingsproces opnår vores SiC-belægning en optimeret termisk ekspansionsmatch med grafitsubstratet. Selv under højfrekvent termisk cykling mellem ekstreme temperaturer, bevarer belægningen overlegen vedhæftning uden at skalle af eller udvikle mikrorevner. Dette reducerer frekvensen af ​​reservedelsvedligeholdelse markant og sænker dine samlede ejeromkostninger.

Vores værksted