CVD SIC Coating Heat Element

CVD SIC -belægningsvarmeelement bruges hovedsageligt i PVD (fysisk dampaflejring) udstyr. I fordampningsprocessen opvarmes materialet for at opnå fordampning eller sputtering, og til sidst dannes en ensartet tynd film på underlaget.

Ⅰ.Specifik anvendelse

Tynd filmaflejring: CVD SIC -belægningsvarmeelement bruges i fordampningskilde eller sputteringskilde. Ved opvarmning opvarmer elementet det materiale, der skal afsættes til en høj temperatur, så dets atomer eller molekyler adskilles fra materialets overflade og danner derved damp eller plasma. Vores varmeelementbaserede SIC -belægning kan også direkte opvarme nogle metal- eller keramiske materialer for at fordampe eller sublimere dem i et vakuummiljø til brug som en materiel kilde i PVD -processen. Da strukturen har koncentriske riller, kan den bedre kontrollere den aktuelle sti og varmefordeling for at sikre ensartetheden af ​​opvarmning.

Skematisk diagram over fordampning PVD -processen

Ⅱ.Arbejdsprincip

Resistiv opvarmning, når strømmen passerer gennem den sic coatede varmeres modstand, genereres joulevarme og opnår derved effekten af ​​opvarmning. Den koncentriske struktur tillader, at strømmen er jævnt fordelt. En temperaturstyringsenhed er normalt forbundet til elementet for at overvåge og justere temperaturen.

Ⅲ.Materielt og strukturelt design

CVD SIC-belægningsvarmeelement er lavet af grafit med høj renhed og SIC-belægning for at klare miljøet med høj temperatur. Selve grafit med høj renhed er blevet brugt i vid udstrækning som et termisk feltmateriale. Efter at et lag belægning er påført på grafitoverfladen ved CVD-metode, forbedres dens høje temperaturstabilitet, korrosionsresistens, termisk effektivitet og andre egenskaber yderligere.

Designet af koncentriske riller giver strømmen mulighed for at danne en ensartet løkke på diskoverfladen. Det opnår ensartet varmefordeling, undgår lokal overophedning forårsaget af koncentration i visse områder, reducerer yderligere varmetab forårsaget af den aktuelle koncentration og forbedrer således opvarmningseffektivitet.

CVD SIC -belægningsvarmeelementet består af to ben og en krop. Hvert ben har en tråd, der forbinder til strømforsyningen. Vetek Semiconductor kan fremstille dele eller opdelte dele, dvs. benene og kroppen fremstilles separat og derefter samles. Uanset hvilke krav du har til CVD -sic -coatet varmelegeme, bedes du kontakte os. Veteksemi kan levere de produkter, du har brug for.

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SIC -belægning ：