Siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer

Det halvlederSiliciumcarbid keramisk belægningsvarmer er en varmelegeme designet til høj temperatur og barske miljøer. Det belægger et lag siliciumcarbon keramisk belægning (SIC) på overfladen af ​​varmeelementet for at give udstyret fremragende varmemodstand, korrosionsbestandighed og termisk ledningsevne. 

Siliciumcarbid keramisk belægningsvarmerbruges hovedsageligt i vakuumbelægning (fordampning) udstyr. De almindeligt anvendte metoder er PCD (plasmakemisk tørring) og PVD (fysisk dampaflejring), som er vidt brugt i halvlederproduktion og andre industrielle anvendelser med høj efterspørgsel.

Kombineret med den højtydende coating-design af siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer,Det kan give en fremragende opvarmningsløsning til processer med høj temperatur.

Fremragende termisk ledningsevne: SIC -materiale har fremragende termisk ledningsevne, hvilket sikrer, at varmeapparatet kan opnå ensartet varmefordeling i arbejdsområdet og reducere temperaturgradienter.

Giv ensartet varmefordeling: Siliciumcarbidkeramisk belægningsvarmer bruger den høje termiske ledningsevne af SIC -materiale til at opnå ensartet temperaturfordeling i hele opvarmningsområdet. Dette er kritisk for at sikre ensartet varmebehandling af halvlederskiver i forskellige processer med høj temperatur, såsom hurtig termisk behandling (RTP), diffusion og oxidation, der undgår produktdefekter forårsaget af lokal overophedning eller ujævn temperatur.

Tolerance med høj temperatur: SIC-belægning gør det muligt for varmelegemet at modstå ekstremt høje temperaturer, typisk op til 1600 ° C, egnet til forskellige behandlingsprocesser med høj temperatur.

Forbedre varmemodstand: Fordi belægningen kan modstå ekstremt høje temperaturer, fungerer den godt i processer, der kræver langvarig høj-temperatur. For eksempel i kemiske dampaflejringsprocesser (CVD) -processer kan siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer sikre langvarig stabil drift af udstyret ved høje temperaturer og opretholde en ensartet opvarmningsydelse og derved forbedre procesens gentagelighed og pålidelighed.

Kemisk korrosionsbestandighed: SIC -belægning har ekstremt høj modstand mod syre, alkali og ætsende gasser og kan forblive stabile i lang tid i et komplekst kemisk atmosfære -miljø, der forlænger udstyrets levetid. 

Udvidelse af udstyrets levetid: SIC -belægning har fremragende oxidationsresistens og korrosionsmodstand og kan effektivt modstå kemisk erosion og oxidation ved høje temperaturer. Dette er meget kritisk i halvlederfremstillingsprocessen, især i et miljø, der håndterer ætsende gasser og kemikalier. Den beskyttende virkning af belægningen kan markant forlænge varens levetid og reducere hyppigheden af ​​udskiftning af udstyr og vedligeholdelsesomkostninger.

Grundlæggende fysiske egenskaber ved siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer:

Vetek halvleder silicium carbide keramiske belægningsvarmer butikker:

Oversigt over Vetek Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: