Siliciumcarbid keramisk belægning

Det halvleder Siliciumcarbid keramisk belægninger et højtydende beskyttelsesbelægning lavet af ekstremt hård og slidbestandig siliciumcarbidmateriale (SIC), som tilvejebringer fremragende kemisk korrosionsmodstand og høj temperaturstabilitet. Disse egenskaber er afgørende i halvlederproduktionen, så keramisk belægning af siliciumcarbid er vidt brugt på nøglekomponenter i halvlederproduktionsudstyr.

Den specifikke rolle, der spilles af Vetek Semiconductor Silicon Carbide keramisk belægning i halvlederproduktionen ersom følger:

Forbedre udstyrets holdbarhed: Siliciumcarbid keramisk belægning giver fremragende overfladebeskyttelse til produktion af halvlederproduktion med dets ekstremt høje hårdhed og slidstyrke. Især i høje temperatur, meget ætsende procesmiljøer, såsom kemisk dampaflejring (CVD) og plasma-ætsning, kan siliciumcarbid keramisk belægning effektivt forhindre skader på udstyrsoverfladen på grund af kemisk erosion eller fysisk slid, hvilket betydeligt forlænger udstyrets levetid og reducerer nedetid forårsaget af hyppig udskiftning og vedligeholdelse.

Forbedre procesrenhed: I halvlederproduktionsprocessen kan enhver lille forurening forårsage produktdefekter. Den kemiske inertitet af siliciumcarbid -keramisk belægning gør det muligt for den at forblive stabil under ekstreme forhold, forhindre materialet i at frigive partikler eller urenheder og sikre miljøets renhed under processen. Dette er især vigtigt for fremstilling af trin, der kræver høj præcision og høj renlighed, såsom PECVD og ionimplantation.

Optimer termisk styring: I høj temperatur-halvlederbehandling, såsom hurtig termisk behandling (RTP) og oxidationsprocesser, muliggør den høje termiske ledningsevne af siliciumcarbidkeramisk belægning en ensartet temperaturfordeling inde i udstyret. Dette hjælper med at reducere termisk stress og materiel deformation forårsaget af temperatursvingninger og derved forbedre produktproduktionsnøjagtigheden og konsistensen.

Support komplekse procesmiljø: I processer, der kræver kompleks atmosfære-kontrol, såsom ICP-ætsning og PSS-ætsningsprocesser, sikrer stabiliteten og oxidationsmodstanden for siliciumcarbid-keramiske belægningsvarmerenes stabile ydelse af udstyret i langvarig drift, hvilket reducerer risikoen for materialedordningsskade eller udstyrsskader på grund af miljøændringer.

Det halvlederfokuserer på fremstilling og levering af højtydendeSiliciumcarbid keramisk belægning, og er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien.Vi håber inderligt at være din langsigtede partner i Kina.

Grundlæggende fysiske egenskaber vedSiliciumcarbid keramisk belægning:

Vetek halvleder silicium carbide keramiske belægningsbutikker:

Oversigt over Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: