siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmer

Det halvleder Siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmerKombinerer den fremragende elektriske og termiske ledningsevne af grafit med den høje temperaturresistens, korrosionsmodstand og slidbestandighed af siliciumcarbon keramisk belægning og er designet til barske halvlederproduktionsmiljøer. 

Siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmerbruges hovedsageligt i vakuumbelægning (fordampning) udstyr, og de anvendte metoder er PCD (plasmakemisk tørring) og PVD (fysisk dampaflejring). Dette produkt har spillet en vigtig rolle i at fremme teknologiske fremskridt og forbedre produktionseffektiviteten i halvlederindustrien.Vi ser oprigtigt frem til yderligere samarbejde med dig.

De materielle og strukturelle træk ved siliciumcarbid keramisk belægningsgrafitvarmer er som følger:

Grafitsubstrat: Grafit er kendt for sin høje termiske ledningsevne og lave termiske ekspansionskoefficient. Det kan reagere hurtigt på temperaturændringer og opretholde strukturel stabilitet ved høje temperaturer.

Silicium carbon keramisk belægning: SIC -belægning er jævnt belagt på grafitoverfladen gennem kemisk dampaflejring eller andre avancerede processer. SIC har ekstremt høj hårdhed og kemisk korrosionsbestandighed, som kan beskytte grafitsubstratet mod høje temperaturoxidation og ætsende miljøer.

Det specielle produktstrukturelle design af siliciumcarbid keramisk belægning Grafitvarmer bestemmerDe uerstattelige produktfordele ved dette produkt i halvlederforarbejdningsprocessen:

Effektiv og ensartet opvarmning:

Termisk ledningsevne: Den høje termiske ledningsevne af grafit gør det muligt for varmelegemet hurtigt at nå og opretholde den krævede temperatur, og SIC -belægningen sikrer ensartet fordeling af varmen. Dette er især vigtigt for halvlederprocesser, der kræver præcis temperaturkontrol, såsom hurtig termisk behandling (RTP) og kemisk dampaflejring (CVD).

Temperaturuniformitet: Gennem ensartet varmefordeling kan siliciumcarbid keramisk belægningsgrafitvarmer effektivt reducere termisk stress og temperaturgradient, hvilket sikrer konsistensen og kvalitetsstabiliteten af ​​halvlederskiver under hele varmeprocessen.

Beskyttelse mod korrosion:

Kemisk modstand: Den kemiske korrosionsmodstand af SIC -belægning gør det muligt for varmelegemet at fungere stabilt og i lang tid i ætsende gas og kemiske miljøer, hvilket undgår skade på grafitsubstratet. Denne funktion er især kritisk i processer såsom kemisk dampaflejring (CVD) og plasmaforbedret kemisk dampaflejring (PECVD).

Oxidationsmodstand: Ved høje temperaturer kan SIC -belægning forhindre oxidation af grafitsubstratet, forlænge varens levetid og reducere frekvensen og omkostningerne ved vedligeholdelse af udstyr.

Reducer partikelforurening:

Overfladestabilitet: SIC-belægning er ikke kun slidbestandig, men forhindrer også partikler i at falde ned fra den materielle overflade på grund af termisk cykling eller kemiske reaktioner, hvilket reducerer risikoen for partikelforurening, der kan forekomme under fremstilling af halvlederproduktion og sikre et højrensitetsprocesmiljø.

Forbedre procesens pålidelighed og effektivitet:

Long-life design: På grund af kombinationen af ​​den mekaniske styrke af grafit og slidstyrke af SIC-belægning, kan siliciumcarbid keramisk belægningsgrafitvarmer opretholde højeffektiv drift i lang tid under barske procesforhold, hvilket forbedrer udstyrets samlede pålidelighed.

Effektiv energiudnyttelse: Den høje termiske ledningsevne af grafit og høj temperaturstabilitet af SIC-belægning gør det muligt for varmelegemet at reducere energiforbruget, mens den forbedring af temperaturkontrolnøjagtigheden forbedrer den samlede effektivitet af halvlederproduktionen.

Grundlæggende fysiske egenskaber vedSiliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmer:

Det halvlederSiliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmerbutikker:

Oversigt over Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

/Anden-proces