Siliciumcarbid belægning

Som en førende kinesisk producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsprodukter spiller Veteksemicons SIC Coated Wafer Carrier til ætsning en uerstattelig kerne rolle i ætsningsprocessen med dens fremragende højtemperaturstabilitet, enestående korrosionsbestandighed og høj termisk ledningsevne.

Veteksemicons CVD-sic coated wafer-følsomhed er en banebrydende løsning til halvlederpitaksiale processer, der tilbyder ultrahøj renhed (≤100 ppb, ICP-E10-certificerede) og usædvanlige termiske/kemiske stabilitet for kontamineringsresistent vækst af GAN, SIC og siliconbaserede epi-layers. Konstrueret med præcision CVD -teknologi understøtter den 6 ”/8”/12 ”skiver, sikrer minimal termisk stress og tåler ekstreme temperaturer op til 1600 ° C.

Vores SIC -coatede planetariske følsomhed er en kernekomponent i den høje temperaturproces for fremstilling af halvleder. Dets design kombinerer grafitsubstrat med siliciumcarbidbelægning for at opnå omfattende optimering af termisk styringsydelse, kemisk stabilitet og mekanisk styrke.

Vores SIC-coatede tætningsring til epitaxy er en højtydende tætningskomponent baseret på grafit- eller carbon-carbonkompositter belagt med siliciumcarbid med høj rensning (SIC) ved kemisk dampaflejring (CVD), der kombinerer den termiske stabilitet af grafit med den ekstreme miljøresistens af SIC, og er designet til Semiconductor Epitaxial udstyr (f.eks

Veteksemicon Single Wafer Epi Graphite Sceptor er designet til højtydende siliciumcarbid (SIC), galliumnitrid (GAN) og anden tredje generation af halvlederpitaksial proces, og er den kerneslagekomponent i høj-præcision epitaksial ark i masseproduktion. Velkommen din yderligere undersøgelse.

En vigtig komponent, der anvendes i ætsningsprocessen for opdræt af skiven, er plasma -ætsningsfokusringen, hvis funktion er at holde skiven på plads for at opretholde plasmatæthed og forhindre kontaminering af skivens sider. Vetek halvleder leverer plasma -ætsningsfokusring med forskellige materialer som monokrystallinsk silicium, silicon carbide, boroncaroncarma og andre keramiske materialer.