Nyheder

Veteksemicon skinner på 2025 Shanghai SEMICON International Exhibition, der fører fremtiden for halvlederindustrien med innovative teknologier

I halvlederfremstillingsindustrien, da enhedsstørrelsen fortsætter med at krympe, har deponeringsteknologien af ​​tynde filmmaterialer stillet hidtil uset udfordringer. Atomlagaflejring (ALD), som en tynd filmaflejringsteknologi, der kan opnå præcis kontrol på atomniveau, er blevet en uundværlig del af fremstilling af halvleder. Denne artikel sigter mod at introducere processtrømmen og principperne for ALD for at hjælpe med at forstå dens vigtige rolle i avanceret chipfremstilling.

Det er ideelt at bygge integrerede kredsløb eller halvlederenheder på et perfekt krystallinsk basislag. Epitaksi (epi) processen i halvlederfremstilling har til formål at afsætte et fint enkeltkrystallinsk lag, sædvanligvis omkring 0,5 til 20 mikrometer, på et enkeltkrystallinsk substrat. Epitaksiprocessen er et vigtigt trin i fremstillingen af ​​halvlederenheder, især ved fremstilling af siliciumwafer.