Efter at have arbejdet i halvlederindustrien i over et årti, forstår jeg førstehånds, hvor udfordrende materialevalg kan være i miljøer med høj temperatur. Det var først, før jeg stødte på Veteks sic -blok, at jeg endelig fandt en virkelig pålidelig løsning.
I halvlederfremstillingsindustrien, da enhedsstørrelsen fortsætter med at krympe, har deponeringsteknologien af tynde filmmaterialer stillet hidtil uset udfordringer. Atomlagaflejring (ALD), som en tynd filmaflejringsteknologi, der kan opnå præcis kontrol på atomniveau, er blevet en uundværlig del af fremstilling af halvleder. Denne artikel sigter mod at introducere processtrømmen og principperne for ALD for at hjælpe med at forstå dens vigtige rolle i avanceret chipfremstilling.
Det er ideelt at bygge integrerede kredsløb eller halvlederenheder på et perfekt krystallinsk basislag. Epitaksi (epi) processen i halvlederfremstilling har til formål at afsætte et fint enkeltkrystallinsk lag, sædvanligvis omkring 0,5 til 20 mikrometer, på et enkeltkrystallinsk substrat. Epitaksiprocessen er et vigtigt trin i fremstillingen af halvlederenheder, især ved fremstilling af siliciumwafer.
Den største forskel mellem epitaxy og atomlagets deponering (ALD) ligger i deres filmvækstmekanismer og driftsbetingelser. Epitaxy henviser til processen med at dyrke en krystallinsk tynd film på et krystallinsk underlag med et specifikt orienteringsforhold, der opretholder den samme eller lignende krystalstruktur. I modsætning hertil er ALD en deponeringsteknik, der involverer at udsætte et underlag for forskellige kemiske forløbere i rækkefølge for at danne et tyndt film et atomlag ad gangen.
CVD TAC coating er en proces til at danne en tæt og holdbar coating på et underlag (grafit). Denne metode involverer aflejring af TaC på substratoverfladen ved høje temperaturer, hvilket resulterer i en tantalcarbid (TaC) belægning med fremragende termisk stabilitet og kemisk resistens.
Efterhånden som 8-tommer siliciumcarbid (SiC)-processen modnes, accelererer producenter skiftet fra 6-tommer til 8-tommer. For nylig annoncerede ON Semiconductor og Resonac opdateringer om 8-tommer SiC-produktion.
Vi bruger cookies til at tilbyde dig en bedre browsingoplevelse, analysere trafik på webstedet og tilpasse indhold. Ved at bruge denne side accepterer du vores brug af cookies.
Privatlivspolitik