Industri -nyheder

SIC keramik er et keramisk materiale produceret af reaktionen af silicium (SI) og carbon (c) elementer, der indeholder ekstremt høj hårdhed, varmemodstand og kemisk stabilitet

I den høje stakes verden af halvlederfremstilling er præcision og stabilitet alt-og det er her den elektrostatiske chuck (ESC) træder ind. Langt mere end bare et holdningsværktøj, bruger ESC'erne elektrostatiske kræfter til sikkert at klemme skiver under kritiske processer som ætsning, deponering og ionimplantation. Men hvordan fungerer det faktisk? Hvorfor er det bedre end traditionel mekanisk klemme? Og hvilken rolle spiller det for at opnå nanoskala nøjagtighed og gennemstrømningseffektivitet? Velkommen til at læse.

DeChuck -princippet om den elektrostatiske Chuck er en vigtig del af dens arbejdsgang, der involverer elektrostatisk elimineringsmekanismer for kraften og skiver frigørelsesmekanismer.