Industri -nyheder

Blandt de tilgængelige teknologier er SiC-krystalvækstovnen med modstandsopvarmning i stor størrelse dukket op som en kritisk løsning til fremstilling af SiC-krystaller med stor diameter og lav defekt med forbedret konsistens og effektivitet. Denne artikel udforsker, hvordan denne teknologi fungerer, dens fordele, applikationer og hvorfor industriledere stoler på innovative løsninger fra Veteksemi.

En SiC-belagt grafitsusceptor til ASM er ikke kun en reservedel inde i et epitaksisystem. Det er en proceskritisk bærer, der påvirker termisk ensartethed, waferens renhed, belægningsholdbarhed, kammerstabilitet og langsigtede produktionsomkostninger.

Et CVD TaC Coating Cover er ikke kun et beskyttende låg eller en belagt grafitkomponent. I højtemperaturhalvlederprocesser kan det påvirke kammerets renhed, termisk stabilitet, dellevetid og proceskonsistens.