Den elektrostatiske chuck (ESC), også kendt som den elektrostatiske chuck (ESC, e-chuck), er en armatur, der bruger princippet om elektrostatisk adsorption til at holde og fikse det adsorberede materiale. Det er velegnet til vakuum- og plasmamiljøer.
SIC Wafer-transportører, som vigtige forbrugsstoffer i den tredje generation af halvlederindustrikæde, deres tekniske egenskaber påvirker direkte udbyttet af epitaksial vækst og enhedsfremstilling. Med den bølgende efterspørgsel efter højspændings- og høje temperaturindretninger i industrier som 5G-basestationer og nye energikøretøjer står forskningen og anvendelsen af SIC-skivebærere nu over for betydelige udviklingsmuligheder.
Aluminiumoxid -keramik er "arbejdshest" til fremstilling af keramiske komponenter. De udviser fremragende mekaniske egenskaber, ultrahøj smeltepunkter og hårdhed, korrosionsbestandighed, stærk kemisk stabilitet, høj resistivitet og overlegen elektrisk isolering. De bruges ofte til at fremstille poleringsplader, vakuumchucks, keramiske arme og lignende dele.
Halvledermaterialer kan klassificeres i tre generationer i kronologisk rækkefølge. Den første generation består af almindelige elementære materialer såsom germanium og silicium, der er kendetegnet ved praktisk switching og bruges generelt i integrerede kredsløb. Den anden generation af sammensatte halvledere, såsom galliumarsenid og indiumphosphid, anvendes hovedsageligt i selvlysende og kommunikationsmateriale.
Kvartsenheder spiller en kritisk rolle i fremstilling af solcellecelle og tilbyder enestående termisk modstand, kemisk renhed og strukturel stabilitet, der kræves i høje temperaturprocesser. Fra kvartsdiffusionsrør og digler til kvartsbåde og ovnkomponenter er disse materialer med høj renhed vigtige for at opnå optimal effektivitet i diffusion, CVD og våd ætsningstrin.
TAC -belægningen eliminerer næsten fuldstændigt carbonindkapslingsfænomenet ved at isolere den direkte kontakt mellem grafit -diglen og SIC -smelten, hvilket reducerer defektdensiteten af mikrotubes markant, hvilket reducerer defektens densitet markant af mikrotubes
Vi bruger cookies til at tilbyde dig en bedre browsingoplevelse, analysere trafik på webstedet og tilpasse indhold. Ved at bruge denne side accepterer du vores brug af cookies.
Privatlivspolitik