Kvartsbåd er en nøglebelastningskomponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocessen. Det bruges hovedsageligt til behandling med høj temperatur af skiver, såsom diffusion, oxidation og annealing. Dens fremragende termiske stabilitet, lave forureningsegenskaber og korrosionsbestandighed gør det til et uundværligt materiale i halvlederindustrien. Denne artikel vil uddybe materialet, fysiske egenskaber, klassificering, applikationsscenarier af kvartsbåd og dens forskelle fra PECVD -grafitbåd.
Kernematerialet i PECVD-grafitbåd er isotropisk grafitmateriale med høj renhed (renhed er normalt ≥99,999%), som har fremragende elektrisk ledningsevne, termisk ledningsevne og densitet. Sammenlignet med almindelige grafitbåde har PECVD -grafitbåde mange fysiske og kemiske egenskabsfordele og bruges hovedsageligt i halvleder- og fotovoltaiske industrier, især i PECVD- og CVD -processer.
MOCVD -grafitbakker spiller en vigtig rolle i den epitaksiale proces. Denne artikel foretager en detaljeret analyse af udvælgelsen af MOCVD -grafitbakker fra perspektiverne af materialegenskaber og applikationsscenarier.
Grafitmaterialer har en bred vifte af applikationsscenarier. Blandt dem er isotropisk grafit og siliconiseret grafit de to vigtigste forskellige typer grafitmaterialer, og deres egenskaber, applikationsscenarier og fordele er markant forskellige. Denne blog vil gennemføre en komparativ analyse fra tre aspekter: strukturelle egenskaber, applikationsscenarier og produktfordele.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy