Nyheder

Kvartsbåd er en nøglebelastningskomponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocessen. Det bruges hovedsageligt til behandling med høj temperatur af skiver, såsom diffusion, oxidation og annealing. Dens fremragende termiske stabilitet, lave forureningsegenskaber og korrosionsbestandighed gør det til et uundværligt materiale i halvlederindustrien. Denne artikel vil uddybe materialet, fysiske egenskaber, klassificering, applikationsscenarier af kvartsbåd og dens forskelle fra PECVD -grafitbåd.

Kernematerialet i PECVD-grafitbåd er isotropisk grafitmateriale med høj renhed (renhed er normalt ≥99,999%), som har fremragende elektrisk ledningsevne, termisk ledningsevne og densitet. Sammenlignet med almindelige grafitbåde har PECVD -grafitbåde mange fysiske og kemiske egenskabsfordele og bruges hovedsageligt i halvleder- og fotovoltaiske industrier, især i PECVD- og CVD -processer.

MOCVD -grafitbakker spiller en vigtig rolle i den epitaksiale proces. Denne artikel foretager en detaljeret analyse af udvælgelsen af ​​MOCVD -grafitbakker fra perspektiverne af materialegenskaber og applikationsscenarier.