Nyheder

Denne artikel beskriver hovedsageligt de brede anvendelsesmuligheder for siliciumcarbidkeramik. Den fokuserer også på analysen af ​​årsagerne til sintringsrevner i siliciumcarbidkeramik og de tilsvarende løsninger.

Ætsningsteknologi inden for halvlederproduktion støder ofte på problemer, såsom belastningseffekt, mikrodrudereffekt og opladningseffekt, der påvirker produktkvaliteten. Forbedringsløsninger inkluderer optimering af plasmatæthed, justering af reaktionsgas sammensætning, forbedring af vakuumsystemets effektivitet, design af rimeligt litografilayout og valg af passende ætsningsmaskematerialer og procesbetingelser.