Nyheder

Lær, hvordan VETEK Pyrolytic Carbon (PyC)-coatede grafitringe forbedrer termisk stabilitet, reducerer kontaminering og forlænger komponentlevetiden i SiC-krystalvækst, epitaksi, CVD og højtemperaturhalvlederprocesser.

Opdag, hvordan CVD TaC-belægning forbedrer SiC-krystalvækst og halvlederfremstilling med ultrahøj termisk stabilitet, korrosionsbestandighed, urenhedsundertrykkelse og overlegen ydeevne i MOCVD- og epitaksiapplikationer.

Tag et kig på vigtige Aixtron G10-komponenter til højtemperatur SiC-epitaksisystemer. Vi dækker CVD SiC-belagte grafitdele, TaC-belægningskomponenter og termiske feltstrukturer – og hvordan de hjælper med processtabilitet, renhedskontrol og wafer-udbytte i avanceret halvlederfremstilling.