Aluminiumnitrid (AlN) keramisk elektrostatisk chuck

1.Fordele

• AlN-keramik med høj renhed med varmeledningsevne op til ~180 W/m·K for effektiv varmeoverførsel og temperaturensartethed

• Stærk elektrisk isolering og høj volumenresistivitet, der understøtter stabil fastspænding ved 1-3 kV (højere spændinger tilgængelig)

• Brugerdefinerede dielektriske lagmaterialer og elektrodelayouts: Coulomb eller Johnsen–Rahbek (JR); enkelt eller multi-zone

• Hurtig klemme- og afspændingsydelse, typisk under 0,1 sekund

• Fordybningsmikrostrukturer i overfladen ned til ~300 μm diameter, hvilket reducerer kontaktarealet til så lavt som ~1 %

• Høj fladhedsevne; typisk global fladhed i størrelsesordenen 0,5-3 μm PV for 300 mm klasse platforme

• Tæt mikrostruktur med næsten nul vandabsorption og god kemisk resistens til procesmiljøer

2.Typiske applikationer

Aluminiumnitrid keramiske elektrostatiske patroner bruges i procestrin, der kræver både sikker waferholding og kontrolleret termisk adfærd:

• Tør plasmaætsning (ICP / RIE) og relaterede kammerprocesser

• CVD, PEALD, termisk ALD og andre tyndfilmsaflejringsstadier

• Udglødning og termiske procesmoduler, der kræver ensartet wafertemperatur

• Inspektions-, metrologi- og præcisionstrin, hvor lavt partikelindhold og stabil fastspænding er kritisk

3.AlN materialekvaliteter – typiske egenskaber

VeTek tilbyder flere aluminiumnitridkvaliteter for at balancere termisk ledningsevne, mekanisk styrke og omkostninger for ESC-design:

Enheder: Termisk ledningsevne i W/(m·K); dielektrisk styrke i kV/mm; volumenresistivitet i Ω·cm (25 °C); dielektrisk konstant ved 1 MHz. Værdier er typiske og kan variere med proces- og emnegeometri.

4.Typiske ESC-designparametre

5.Hvorfor Choose VeTek AlN elektrostatiske patroner?

VeTek Semiconductor integrerer avanceret AlN-keramik med præcisions-ESC-fremstilling til halvlederkunder, der har brug for både termisk ydeevne og pålidelig fastspænding:

• Flere AlN-kvaliteter med termisk ledningsevne fra ~90 til ~180 W/m·K for at matche processens termiske budgetter

• Fleksibel elektrode og dielektrisk design til Coulomb eller JR fastspændingsadfærd

• Tæt kontrol af fladhed, overflademikrostruktur og elektrisk isoleringsydelse

• Fuld livscyklussupport: design, nybygning og renovering på flere niveauer

Til ætsning, aflejring og termiske værktøjer, der afhænger af ensartet wafer-temperatur og ren, repeterbar fastspænding, giver VeTek Aluminium Nitride Ceramic Electrostatic Chucks en højtydende keramisk platform understøttet af applikationsfokuseret teknisk support.