TAC Coating Guide Rings

Funktion af TAC -belægningsguide ringer:

Præcis gasstrømstyring: TheTac Coating Guide Ringer strategisk placeret inden for gasinjektionssystemet iMOCVD -reaktor. Dens primære funktion er at dirigere strømmen af ​​forløbergasser og sikre deres ensartede fordeling over substratskiveoverfladen. Denne nøjagtige kontrol over gasstrømningsdynamikken er vigtig for at opnå ensartet epitaksial lag vækst og ønskede materialegenskaber.

Termisk styring: TAC -coatingguiden ringer fungerer ofte ved forhøjede temperaturer på grund af deres nærhed til den opvarmede følsomhed og underlag. TACs fremragende termiske ledningsevne hjælper med at sprede varme effektivt, hvilket forhindrer lokaliseret overophedning og opretholdelse af en stabil temperaturprofil inden for reaktionszonen.

Fordele ved TAC i MOCVD:

Ekstrem temperaturmodstand: TAC kan prale af et af de højeste smeltepunkter blandt alle materialer, over 3800 ° C.

Fremragende kemisk inertitet: TAC udviser enestående modstand mod korrosion og kemisk angreb fra de reaktive forløbergasser, der anvendes i MOCVD, såsom ammoniak, silan og forskellige metalorganiske forbindelser.

Fysiske egenskaber vedTAC -belægning:

Fordele for MOCVD -ydeevne:

Brugen af ​​Vetek Semiconductor TAC Coating Guide Ring i MOCVD -udstyr bidrager væsentligt til:

Øget oppetid for udstyr: Holdbarheden og den udvidede levetid for TAC Coating Guide Ring reducerer behovet for hyppige udskiftninger, minimerer vedligeholdelsens nedetid og maksimerer driftseffektiviteten af ​​MOCVD -systemet.

Forbedret processtabilitet: Den termiske stabilitet og den kemiske inertitet af TAC bidrager til et mere stabilt og kontrolleret reaktionsmiljø i MOCVD -kammeret, der minimerer procesvariationer og forbedrer reproducerbarheden.

Forbedret epitaksial lags ensartethed: Præcis gasstrømningskontrol lettet af TAC -belægningsguiden ringer sikrer ensartet forløberfordeling, hvilket resulterer i meget ensartetVækst af epitaksial lagmed ensartet tykkelse og sammensætning.

Tantalcarbid (TAC) belægningpå et mikroskopisk tværsnit: