Aixtron G10 Solid SiC planetreaktorkomponenter

1. Nøglefunktioner og fordele

• Fuldt tæt, bindemiddelfri Solid SiC-struktur for overlegen slid- og korrosionsbestandighed

• Fremragende varmeledningsevne og termisk stødmodstand ved temperaturer over 1500 °C

• Ultralav partikeldannelse og høj renhed, minimerer risikoen for forurening

• Fremragende kemisk inertitet mod procesgasser, der anvendes i SiC-epitaksi

• Lang levetid ved gentagne højtemperaturcykler

• Præcisionsbearbejdet til snævre dimensionelle tolerancer for pålidelig pasform og processtabilitet

 2. Typiske anvendelser

Disse Solid SiC-tilbehør bruges i nøglefunktionsområder i Aixtron G10-reaktoren, herunder:

• Dækplader og udvalgte dækelementer

• Beskyttelsesringe og slidstærke komponenter

• Præcisionsstifter, spændeskiver og små strukturelle dele

• Andre specialfremstillede skær med høj renhed udsat for intens gasstrøm eller termisk belastning

De understøtter stabil temperaturfordeling, ensartet gaslevering og lav defekttæthed under højvolumen SiC epitaksial vækst for strøm-MOSFET'er, dioder og relaterede bredbånds-enheder.

3. Hvorfor vælge VeTek Solid SiC til Aixtron G10?

Som en specialiseret producent af materialer af halvlederkvalitet leverer VeTek Semiconductor:

• Solid SiC-komponenter med høj renhed, skræddersyet til Aixtron G10-systemer, f.eks.: Dækring，Indre/ydre dæksler，nedtrækkende/støtteplade，Satellitskive，susceptor

• Streng renhedskontrol og præcision CNC-bearbejdning

• Supplerende løsninger, herunder CVD SiC-belagt grafit og TaC-belagte dele til komplet termisk feltdækning

• Skræddersyede designs matchet til specifikke procesforhold og reaktorkonfigurationer

Vores Solid SiC-tilbehør hjælper kunder med at maksimere produktivitetsfordelene ved Aixtron G10-platformen – høj wafer-output, fremragende tykkelse og dopingensartethed og konkurrencedygtige ejeromkostninger – samtidig med at komponentens levetid forlænges og partikelrelateret udbyttetab reduceres.