AIXTRON MOCVD Supportor

Susceptorerne produceret afDet halvlederer lavet af grafitsubstrat og siliciumcarbid (SIC) belægningsmateriale. I betragtning af den højere slidstyrke, korrosionsbestandighed og ekstremt høj hårdhed af SIC -materiale er det især velegnet til brug i barske procesmiljøer. Derfor kan følelsen produceret af Vetek Semiconductor bruges direkte i High-temperatur MOCVD-processer uden yderligere overfladebehandling.

Susceptorer er nøglekomponenter i halvlederfremstilling, især i MOCVD-udstyr til tyndfilmaflejringsprocesser. Hovedrollen afAixtron: Så støttenI MOCVD-processen er at transportere halvlederskiver, sikre ensartet og afsætning af tynde film af høj kvalitet ved at tilvejebringe ensartet varmefordeling og reaktionsmiljø og derved opnå tyndfilmproduktion af høj kvalitet.

Aixtron MOCVD-receptorbruges normalt til at understøtte og fikse bunden af ​​halvlederskiver for at sikre skivens stabilitet under deponeringsprocessen. På samme tid er overfladebelægningen af ​​Aixtron MOCVD -følsomhed lavet af siliciumcarbid (SIC), et meget termisk ledende materiale. SIC-belægningen sikrer ensartet temperatur på overfladen af ​​skiven, og ensartet opvarmning er vigtig for at få film af høj kvalitet.

DesudenAixtron MOCVD-receptorvi producerer spiller en større rolle i styringen af ​​flow og distribution af reaktive gasser gennem det optimerede design af materialer. Undgå hvirvelstrømme og temperaturgradienter for at opnå ensartet filmaflejring.

Vigtigere er det, at i MOCVD -processen har siliciumcarbid (SIC) belægningsmateriale korrosionsbestandighed, såDet halvleder'sAixtron MOCVD-receptorKan også modstå høje temperaturer og ætsende gasser.

Grundlæggende fysiske egenskaber vedSic coating:

Vetek halvleder Wafer Boat Shops:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden: