Keramisk elektrostatisk chuck

Halvlederproduktionsprocesser, især Wafer -behandling, udføres i et vakuummiljø, og mekanisk klemme skiver bærer 

visse risici. Når kraften er koncentreret om klemmepunktet, kan sprøde siliciumskiver kaste små fragmenter, hvilket forårsager alvorlig skade på skiveproduktionen.

I dette tilfælde bliver den keramiske elektrostatiske chuck et bedre valg, der fikserer skiven med elektrostatisk kraft. Den elektrostatiske kraft virker jævnt på skiven, så skiven kan fastgøres fladt, hvilket forbedrer nøjagtigheden af ​​processen.

Ifølge relevante forskningsartikler har keramisk elektrostatisk chuck stærkere sug end andre elektrostatiske chucks. For eksempel har keramisk elektrostatisk Chuck meget stærkere sugning end Pet Film Electrostatic Chuck.

Keramik Chuck er normalt lavet af højpræstation keramiske materialer såsom AL2O3, ALN eller SIC, som har høj varmemodstand, isolering og korrosionsbestandighed. Porøs SIC-keramisk chuck er ikke kun stabil ved ekstreme temperaturer, men forhindrer også effektivt keramisk e-chuck fra nedbrydning på grund af kemiske reagenser og plasma-ætsning under fremstillingsprocessen.

Temperaturkontrol: Den høje termiske ledningsevne og stabile termiske egenskaber ved keramiske materialer muliggør aluminiumoxid -keramisk vakuumchuck til effektivt at kontrollere temperaturen og derved optimere temperaturfordelingen under processen.

Vakuumtilpasningsevne: Keramisk elektrostatisk chuck er velegnet til vakuummiljøer, især i lavtryk og ætsningsprocesser med høj præcision.

Generering af lav partikel: Porøs SIC-keramisk e-chuck har en glat overflade, som kan reducere partikelforurening under waferfastsættelse og hjælpe med at forbedre produktudbyttet.

Anvendelse: Brugt hovedsageligt i fremstilling af halvleder, aftagelig keramisk elektrostatisk chuck, der leverer præcis placering og stabilitet, hvilket er meget nyttigt til litografi, ætsning og andre produktionsprocesser til behandling af halvleder. Sørg for, at skiven er intakt under behandlingen og forbedrer kvaliteten af ​​chipproduktionen.

Det halvlederKeramisk e-chuck-produktionsbutikker: