Aluminiumoxid keramisk vakuum chuck

Aluminiumoxid -keramisk vakuum Chuck er en skiveholder til epitaksiale processer i halvlederforarbejdning. Det er et nøgleværktøj til stabilisering af skiver og sikring af ensartet vækst af epitaksiale lag. Det er vidt brugt i epitaksialudstyr såsomMOCVDogLPCVD.

Vetek Semiconductor aluminiumoxid keramisk vakuum Chuck spiller en vigtig rolle i skiven tyndt og slibestadier af halvlederproduktion. Disse faser involverer nøjagtigt at reducere tykkelsen afWafer -underlagFor at forbedre chipvarmeafledning, hvilket er vigtigt for at forbedre effektiviteten og levetiden for halvlederenheder.

Kompatibel med flere skivestørrelser: Vetek Semiconductor aluminiumoxid keramisk vakuum Chuck er designet til at understøtte en lang række skivestørrelser, herunder 2, 3, 4, 5, 6, 8 og 12 tommer. Denne tilpasningsevne gør den velegnet til en række halvlederproduktionsmiljøer, hvilket sikrer ensartet og pålidelig ydelse på tværs af forskellige skivestørrelser.

Overlegen materialesammensætning: Basen på aluminiumoxid-keramisk vakuum Chuck er lavet af ultra-pure 99.9999% aluminiumoxid (AL₂O₃), der tilbyder fremragende modstand mod kemisk angreb og termisk stabilitet. Chuck -overfladen er lavet af porøsSiliciumcarbid (sic). Det porøse keramiske materiale har en tæt og ensartet struktur, der forbedrer dens holdbarhed og ydeevne.

Fordelene vedPorøs keramisk teknologi：

Materiel renhed og holdbarhed: Lavet af 99,99% ren aluminiumoxid, vores aluminiumoxidiske keramiske vakuum Chuck modstår kemisk angreb og tilbyder fremragende termisk stabilitet, hvilket gør det ideelt til ekstremt krævende produktionsmiljøer.

Optimal porøsitet og luftpermeabilitet: Jævnt distribuerede mikroporer giver fremragende luftpermeabilitet og ensartet adsorptionskraft, hvilket resulterer i en jævn og konsekvent drift.

Forbedret fladhed og parallelisme: Mikroporøs aluminiumoxid -keramiske vakuumchucks har fremragende fladhed og parallelisme, hvilket sikrer præcis waferhåndtering og stabilitet.

Tilpassede servicefunktioner: Veteksemi kan tilvejebringe en række tilpassede former, herunder runde, firkantede, ring og andre designs, med tykkelse, der spænder fra 3 mm til 10 mm. Denne tilpasning sikrer, at vores aluminiumoxid -keramiske vakuumchucks imødekommer de specifikke behov for forskellige halvlederproduktionsprocesser og bestemt er dit ideelle valg.

Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien, og vi håber inderligt at være din langsigtede partner i Kina.

DeKemisk formel afaluminiumoxid keramik：

Det halvlederAluminiumoxid keramisk vakuum chuck butikker: