CVD Sic Coating Ring

Der er mange små dele i halvmåne dele, og sic coating ring er en af ​​dem. Ved at anvende et lag afCVD SiC coatingPå overfladen af ​​højren grafitring ved CVD-metoden kan vi opnå CVD SiC-belægningsring. SiC-belægningsring med SiC-belægning har fremragende egenskaber såsom høj temperaturbestandighed, fremragende mekaniske egenskaber, kemisk stabilitet, god varmeledningsevne, god elektrisk isolering og fremragende oxidationsmodstand.CVD SiC-belægningsring og SiC-belægningbedemandarbejde sammen.

SiC belægningsring og samarbejderbedemand

Funktionerne af CVD SiC belægningsringen:

  ●   Flow distribution: Det geometriske design af SIC -belægningsringen hjælper med at danne et ensartet gasstrømningsfelt, så reaktionsgassen jævnt kan dække overfladen af ​​underlaget, hvilket sikrer ensartet epitaksial vækst.

  ●  Heat exchange and temperature uniformity: The CVD SiC coating ring provides good heat exchange performance, thereby maintaining uniform temperature of the CVD SiC coating ring and substrate. This can avoid crystal defects caused by temperature fluctuations.

  ●  Interface blokering: The CVD SiC coating ring can limit the diffusion of reactants to a certain extent, so that they react in a specific area, thereby promoting the growth of high-quality SiC crystals.

  ●  Support funktion: CVD SiC-belægningsringen er kombineret med skiven nedenfor for at danne en stabil struktur for at forhindre deformation i høje temperaturer og reaktionsmiljøer og opretholde reaktionskammerets overordnede stabilitet.

Vetek Semiconductor er altid forpligtet til at give kunderne CVD SIC-coatingringe af høj kvalitet og hjælpe kunder med at gennemføre løsninger til de mest konkurrencedygtige priser. Uanset hvilken slags CVD sic coating ring du har brug for, er du velkommen til at konsultere Vetek Semiconductor!

SEM DATA FOR CVD SIC FILM KRYSTAL STRUKTUR:

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SIC -belægning ：