Epi -tilhænger

Vetek Semiconductor er en professionel leder China Epi gennemført, ALD Planetary Tugor og TAC Coated Graphite Support Producent. og Vores EPI -support er en vigtig komponent iepitaksial vækstI halvlederproduktionsprocessen. Dets hovedfunktion er at understøtte og opvarme skiven, så et epitaksialt lag af høj kvalitet kan dyrkes ensartet på skiveoverfladen.

Vetek Semiconductors 'EPI-følelser er normalt lavet af grafit med høj renhed og belagt med et lag siliciumcarbid (SIC).Dette design har følgende centrale fordele:

● Stabilitet med høj temperatur: Epi -følgeren kan forblive stabil i et miljø med høj temperatur, hvilket sikrer den ensartede vækst af det epitaksiale lag.

● Korrosionsbestandighed: SIC -belægningen har fremragende korrosionsbestandighed og kan modstå erosion af kemiske gasser og forlænge bakkenes levetid.

● Termisk ledningsevne: Den høje termiske ledningsevne af SIC -materiale sikrer ensartet temperaturfordeling af skiven under opvarmning og forbedrer derved kvaliteten af ​​det epitaksiale lag.

● Termisk ekspansionskoefficient matching: Den termiske ekspansionskoefficient for SIC svarer til grafit, der undgår problemet med coating -udgydelse på grund af termisk ekspansion og sammentrækning.

Grundlæggende fysiske egenskaber vedCVD SIC -belægning:

CVD Sic Coating Production Shop:

Oversigt over Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: