Fokusring til ætsning

Monokrystallinske silicium -ætsningsringe er vigtige komponenter i ætsningsprocesser til halvleder ved at opretholde plasmamiljøstabilitet, beskytte udstyr og skiver, optimere ressourceudnyttelse og tilpasning til avancerede procesbehov. Dens ydelse påvirker direkte udbyttet og omkostningerne ved chipfremstilling.

Den ætsede fokusring, elektrode og osv. (Kanttemperaturcontroller) er de centrale forbrugsstoffer for at sikre plasmauniformitet, temperaturstyring og proces gentagelighed. Disse komponenter er nøjagtigt samlet i vakuumkammeret i CVD, ætsning og filmudstyr og bestemmer direkte nøjagtigheden og udbyttet af ætsningen fra kant til midten af ​​skiven.

Som svar på den strenge efterspørgsel efter materielle egenskaber i avancerede fremstillingsprocesser innoverer Veteksemi ved at bruge monokrystallinsk silicium med høj renhed med en resistivitet på 10-20Ω · cm til fremstilling af fokuseringsringe og understøttende forbrugsstoffer. Gennem samarbejdsoptimering af materialevidenskab, elektrisk design og termodynamik er Veteksemi i stand til at fremstille fokuseringsringe og understøtte forbrugsstoffer. Overgå omfattende traditionelle kvartsopløsninger for at opnå gennembrudsforbedringer i lang levetid, nøjagtighed og omkostningseffektivitet.

Kernemateriale sammenligning og resistivitetsoptimering

Monokrystallinsk silicium Vs. Kvarts

Product Core Advantage

1. atomniveau Processnøjagtighed

Resistivitetsoptimering + ultra-præcisionspolering (RA <0,1μM) eliminerer mikroudladning og partikelforurening for at opfylde Semi F47-standarder.

Det dielektriske tab (tanδ <0,001) er stærkt matchet til det dielektriske miljø, der undgår kantelektrisk feltforvrængning og understøtter 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° lodret dybhul ætsning.

2. Intelligent systemkompatibilitet

Integreret med osv. Kantetemperaturstyringsmodul er køleluftstrømmen dynamisk justeret af termoelement og AI -algoritme for at kompensere kammerets termiske drift.

Support tilpasset RF -matchende netværk, der er egnet til mainstream -maskiner, såsom AMAT Centura, Lam Research Kiyo og ICP/CCP -plasmakilder.

3. omfattende omkostningseffektivitet

Livet med monokrystallinsk silicium er 275% længere end kvarts, vedligeholdelsescyklussen er mere end 3.000 timer, og de omfattende ejerskabsomkostninger (TCO) reduceres med 30%.

Resistivitetsgradienttilpasningstjeneste (5-100Ω · CM), der nøjagtigt matcher vinduet Kundesproces (såsom GaN/Sic Wide Band Gap Material-ætsning).

Effekten af ​​resistivitet

Produkt kommercielle termer

Minimum ordremængde	1 sæt
Pris	Kontakt for tilpasset tilbud
Emballageoplysninger	Standard eksportpakke
Leveringstid	Leveringstid: 30-35 dage efter ordrebekræftelse
Betalingsbetingelser	T/t
Forsyningsevne	600 sæt/måned