Anden halvlederkeramik

Den porøse SIC-keramiske chuck af Veteksemicon er en præcisions-konstrueret vakuumplatform designet til sikker og partikelfri waferhåndtering i avancerede halvlederprocesser såsom ætsning, ionimplantation, CMP og inspektion. Fremstillet af porøst siliciumcarbid med høj renhed, tilbyder det enestående termisk ledningsevne, kemisk resistens og mekanisk styrke. Med tilpassede porestørrelser og dimensioner leverer Veteksemicon skræddersyede løsninger til at imødekomme de strenge krav fra rent for behandlingsmiljøer.

Vores kvarts wafer både er højrulitets wafer-bæreropløsning, der er skræddersyet til halvleder, LED, solcelle og batteriproduktionsprocesser. Denne kvartsbåd er konstrueret til at udholde høje temperaturer og kemisk aggressive miljøer og har lav termisk ekspansion, fremragende elektrisk isolering og langvarig dimensionel stabilitet. Ideel til diffusion, oxidation og LPCVD -processer understøtter den præcis Wafer -justering og fås i forskellige størrelser for at imødekomme forskellige udstyrskrav.

Vores høje renhedskvartsbåd er lavet af smeltet kvarts (SIO₂ -indhold ≥ 99,99%). Med sin fremragende modstand mod ekstreme miljøer, lav termisk ekspansionskoefficient og lang livscyklus er det blevet en uerstattelig nøgleforbrug i halvlederen og nye energisektoren.

Fokusring til ætsning er nøglekomponenten for at sikre procesnøjagtighed og stabilitet. Disse komponenter er nøjagtigt samlet i et vakuumkammer for at opnå ensartet bearbejdning af nanoskala -strukturer på skiveoverfladen gennem præcis kontrol af plasmafordeling, kanttemperatur og elektrisk feltuniformitet.

Veteksemicon er en førende vakuumchuck -producent i Kina, vores keramiske vakuumchuck fungerer som et højt vakuumadsorptionsindretning orienteret mod nøjagtigt adsorberende og immobiliserende skiver og ingots. Velkommen din forespørgsel.

Halvlederkvartskvarts Bell Jar er en vigtig udstyrskomponent, der hovedsageligt bruges i høje temperatur, højtryk og miljøer med høj renhed. Det er lavet af kvartsmateriale med høj renhed, har fremragende termisk stabilitet, kemisk resistens og optisk gennemsigtighed og er vidt brugt inden for industrielle områder såsom produktion af halvleder og LED -produktion. Vetek Semiconductor har mange års procesakkumulering i kvartsklokke i halvlederklasse og kan levere tilpassede produkter i henhold til kundebehov. Ser frem til din forespørgsel.