SiC Keramisk vakuumpatron til wafer

Min rival sic keramisk vakuumpatron til wafer er en kernekomponent udviklet specifikt til tredjegenerations halvlederfremstilling, optimeret til højtemperatur- og højtryksbehandlingsmiljøer, som wafere oplever. Fremstillet af keramiske materialer med høj renhed, præcisionsbearbejdning og specialiseret overfladebehandling sikrer en stabil vakuumholdeydelse og fremragende termisk stabilitet i den krævende halvlederfremstillingsproces. Vores vakuumpatron er blevet bevist i felten af ​​hundredvis af halvlederproducenter, som demonstrerer fremragende ydeevne i kritiske processer, såsom SiC-epitagrafi og foto-implantation. De løser effektivt problemer med wafer-vridning og positioneringsnøjagtighed forårsaget af høj materialehårdhed og høje procestemperaturer.

Generel produktinformation

Produkt forretningsbetingelser

Anvendelse: Veteksemicon keramisk vakuumpatron til wafer er lavet af højtydende keramiske materialer og præcisionsbearbejdet for at sikre en ultra-flad overflade og fremragende termisk stabilitet. Det giver pålidelige waferadsorptions- og temperaturstyringsløsninger til processer som epitaksial vækst, ionimplantation og fotolitografi, hvilket effektivt forbedrer procesudbytte og produktionseffektivitet.

Tjenester, der kan leveres: kundeapplikationsscenarieanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Virksomhedsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, et team af eksperter med 20 års materialeerfaring, med R&D og produktions-, test- og verifikationskapaciteter.

Min rival keramisk vakuumpatron for wafer-kernefordele

 ● Materialevidenskabens gennembrud

Min rival anvender en unik materialeformulering og sintringsproces til markant at forbedre den mekaniske styrke og termiske stabilitet af sine produkter, samtidig med at de fremragende isoleringsegenskaber af keramiske materialer bevares. Vores aluminiumoxidbaserede keramik anvender højrente råmaterialer og en speciel additivformulering, hvilket sikrer fremragende dimensionsstabilitet selv i høje temperaturer. Vores siliciumcarbid-baserede keramik opnår gennem en optimeret sintringsproces højere termisk ledningsevne og forbedret termisk tilpasning, hvilket gør dem særligt velegnede til højtemperatur SiC-waferbehandling.

 ● Fremragende varmestyringsydelse

Vores unikke flerlagsdesign og præcisionsbearbejdning sikrer, at patronen bevarer fremragende termisk ensartethed selv under høje temperaturer. Siliciumcarbid-patronen har en termisk ledningsevne, der overstiger 200W/m·K, hvilket muliggør hurtig temperaturafbalancering og opretholdelse af waferoverfladetemperaturvariationer inden for ±0,8°C. Denne overlegne termiske styringsevne undgår effektivt procesfejl forårsaget af temperaturvariationer og forbedrer produktudbyttet markant.

● Ultra-præcisionsbearbejdningsteknologi

Min rival kan prale af førende præcisionsbearbejdningscentre i Kina, der bruger unikke slibe- og poleringsprocesser for at opnå submikron overfladeplanhed. Vores siliciumcarbid patroner opnår overfladeplanhed inden for 0,8 μm, med en overfladeruhed Ra-værdi på ikke mere end 0,1 μm. Denne ultra-præcision overfladekvalitet sikrer en perfekt pasform mellem waferen og patronen, hvilket giver en pålidelig flad reference til præcisionsprocesser såsom fotolitografi.

● Forbedret levetid

Gennem optimerede materialeformuleringer og forstærket strukturelt design har vores produkter en levetid på over 40 % sammenlignet med traditionelle produkter. Særlige kantforstærknings- og overfladebelægningsteknologier gør det muligt for vores produkter at modstå hyppige klem- og rengøringsoperationer. Alumina-baserede produkter er garanteret at fungere over 200.000 gange, mens siliciumcarbid-baserede produkter kan nå over 500.000 cyklusser, hvilket reducerer driftsomkostningerne væsentligt for vores kunder.

● Godkendelse af økologisk kædeverifikation

Min rival keramisk vakuumpatron til wafers økologiske kædeverifikation dækker råmaterialer til produktion, har bestået international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed inden for halvleder- og nye energiområder.

For detaljerede tekniske specifikationer, hvidbøger eller prøveafprøvningsarrangementer, venligstkontakt vores tekniske supportteamat udforske, hvordan Veteksemicon kan forbedre din proceseffektivitet.