Kvartsovnsrør til diffusionsovn

1. Nøglefunktioner og fordele

• Dehydroxyleret fusioneret kvarts med ultrahøj renhed (SiO₂ ≥ 99,999%) med metalurenheder kontrolleret ved ppb-niveauer og ekstremt lavt hydroxylindhold

• Langtidsdriftstemperatur op til 1100 °C; kortvarig topmodstand til 1200 °C

• Fremragende modstandsdygtighed over for termisk stød efter fuld spændingsaflastende udglødning – modstandsdygtig over for revner under hurtige temperaturændringer

• Fremragende kemisk inertitet mod oxiderende, reducerende og halogenholdige procesgasser; velegnet til plasma og ætsende atmosfærer

• Meget lav vakuumafgasning; glat indervæg minimerer opbygning af biprodukter og understøtter processens repeterbarhed

• Formning i ét stykke med ensartet vægtykkelse, høj koaksialitet og præcisionsbehandlede ender for pålidelig tætning

• Tilpasselige strukturer: lige rør, reduktionsrør, flangerør, forlængede længder og specielle endekonfigurationer til lodrette eller vandrette ovne

2. Typiske anvendelser

VeTek kvartsovnsrør bruges i vid udstrækning som kernereaktionskammeret i:

• Termiske oxidationsovne (tør/våd oxidation)

• Diffusionsovne til introduktion af doteringsmiddel (B, P, As osv.)

• LPCVD-systemer til tyndfilmsaflejring

• Vakuumglødning og andre højtemperatur varmebehandlingsprocesser

• Kompatibel med 4-tommer, 6-tommer, 8-tommer og 12-tommer wafer-platforme (Si, SiC, GaN, safir-substrater)

De understøtter logik, hukommelse, strømenhed, MCU, LED, MEMS og bredbåndshalvlederproduktionslinjer, der kræver stabil temperaturensartethed, gasstrømskontrol og ultrarene procesmiljøer.

3. Tekniske nøgleparametre

• Materiale: Halvleder-grade dehydroxyleret smeltet kvarts (SiO₂ ≥ 99,999%), lav hydroxyl, lav metalliske urenheder

• Wafer-kompatibilitet: 4 / 6 / 8 / 12 tommer

• Langtidsarbejdstemperatur: −20 °C til 1100 °C; kortvarig top op til 1200 °C

• Proces: Termisk formning i ét stykke, væghomogenisering, slutfinish, spændingsudglødning, heliumlækagetest, ultraren rengøring

• Tilgængelige strukturer: Lige rør, reduktionsrør, flangerør, forlænget / speciallængde rør, specialende konfigurationer

• Tilpasning: Indvendig/ydre diameter, længde, vægtykkelse, flangespecifikationer og specielle geometrier pr. kundetegninger

4. Hvorfor vælge VeTek Quartz Furnace Tubes?

Som en professionel producent af halvlederkvartskomponenter tilbyder VeTek Semiconductor:

• Kvartsovnsrør med høj renhed konstrueret til oxidations-, diffusions-, LPCVD- og udglødningsudstyr

• Streng renhedskontrol, dimensionsnøjagtighed og renlighed velegnet til klasse 10 / klasse 100 renrumsproduktion

• Fuld tilpasning og OEM-kompatible design til lodrette og vandrette rørovne

• Komplementære halvlederkvartsprodukter, herunder waferbåde, digler, foringer og andre proceskomponenter

Vores kvartsovnsrør hjælper med at opretholde stabile termiske og gasstrømningsforhold, minimerer partikel- og metalforurening og forlænger levetiden under kontinuerlig højtemperaturcykling – hvilket understøtter højere udbytte og lavere ejeromkostninger i termisk halvlederbehandling.