Quartz Wafer Boats

Quartz Wafer Boats er uundværlige præcisionsværktøjer i halvlederproduktionsprocessen. Det spiller en vigtig rolle i diffusionsprocessen med høj temperatur og er vidt brugt i LED'er, solceller, traditionelle halvlederindretninger, dioder og andre felter. I disse applikationer er den vigtigste funktion af waferbåden at stabilt bære og nøjagtigt placere halvlederskiver for at sikre, at skiverne er jævnt opvarmet i høj temperaturdiffusionsovn og derved opnå nøgleprocesetrin, såsom doping eller oxidation. Dens fremragende fysiske egenskaber gør kvarts wafer båd til hjørnestenen i højeffektive halvlederenheder.

Nøgle materialefordele

Konstrueret af smeltet kvarts med høj renhed tilbyder kvarts wafer både en kombination af overlegne termiske, kemiske og elektriske egenskaber, der er kritiske for at kræve halvlederanvendelser:

● Lav termisk ekspansionskoefficient

Kvartsmateriale har en ekstremt lav termisk ekspansionskoefficient, hvilket betyder, at størrelsen og formen på waferbåden kan forblive meget stabil under ekstreme temperaturændringer. Dette er afgørende for at forhindre, at skiven deformeres eller revner på grund af termisk stress i processer med høj temperatur, hvilket sikrer nøjagtigheden og konsistensen af hver diffusionsproces.

● Stabilitet i høj temperatur

Kvarts kan opretholde sin strukturelle integritet og kemiske stabilitet ved ekstremt høje temperaturer og er ikke let at blødgøre eller deformere. Dette gør det muligt for kvarts wafer både at modstå det hårde miljø i tusinder af grader Celsius i halvlederdiffusionsprocessen, hvilket sikrer kontinuiteten og pålideligheden af processen.

● Fremragende isolering

Quartz er en fremragende elektrisk isolator. I halvlederprocesser kan isoleringsejendommen effektivt forhindre unødvendig opladningsakkumulering eller bueudladning og derved beskytte følsomme halvlederenheder mod skader og sikre processens sikkerhed.

● Fremragende kemisk stabilitet og gennemsigtighed

Quartz har fremragende kemisk inertitet og er ikke let at reagere med kemiske gasser i diffusionsovnen eller stofferne på overfladen af skiven og derved undgå urenhedskontaminering og sikre produktrenhed. Derudover har dens optiske gennemsigtighed også potentielle fordele i visse specifikke overvågnings- eller optiske detektionsprocesser.

Ansøgninger ：

● LED -chipfremstilling

● Solcelle diffusion og doping

● halvleder IC -fabrikation

● Batteri og diodebehandling

● Termisk oxidation & LPCVD -ovne

Hvorfor vælge vores kvarts waferbåd?

● Udformet af syntetisk kvarts med høj renhed

● Tilpasbare størrelser til 2-tommer til 12-tommer skiver

● Fremragende dimensionel præcision og glat overfladefinish

● Kompatibel med alle større diffusionsovnsystemer

VeKekemicon Products Shop