Sic coated grafitfølsomhed for MOCVD

VeTek Semiconductors SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD er en højrent SiC coated grafitbærer, specielt designet til epitaksial lagvækst på waferchips. Som en central komponent i MOCVD-behandling, typisk formet som et tandhjul eller ring, kan den prale af exceptionel varmebestandighed og korrosionsbestandighed, hvilket sikrer stabilitet i ekstreme miljøer.

Nøglefunktioner i MOCVD SIC Coated Graphite Sceptor:

●   Flage-resistent belægning: Sikrer ensartet SiC-belægningsdækning på alle overflader, hvilket reducerer risikoen for partikelløsning

●   Fremragende højtemperaturoxidationsbestandighedce: Forbliver stabil ved temperaturer op til 1600 ° C

● Høj renhed: Fremstillet gennem CVD kemisk dampaflejring, velegnet til højtemperaturkloreringsforhold

●   Overlegen korrosionsbestandighed: Meget resistente over for syrer, alkalier, salte og organiske reagenser

● Optimeret laminært luftstrømmønster: Forbedrer ensartethed i luftstrømsdynamikken

●   Ensartet termisk fordeling: Sikrer stabil varmefordeling under højtemperaturprocesser

●   Forebyggelse af kontaminering: Forhindrer diffusion af forurenende stoffer eller urenheder, hvilket sikrer, at wafer -renlighed

Hos Vetek Semiconductor overholder vi strenge kvalitetsstandarder og leverer pålidelige produkter og tjenester til vores klienter. Vi vælger kun premium -materialer, stræber efter at imødekomme og overskride industriens ydelseskrav. Vores SIC -coatede grafit -følsomhed for MOCVD eksemplificerer denne forpligtelse til kvalitet. Kontakt os for at lære mere om, hvordan vi kan støtte dine behov for halvleder Wafer -behandling.

CVD SIC FILM KRYSTAL STRUKTUR:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

VeTek Semiconductor MOCVD SiC-belagt grafitreceptor: