Tantalum carbidteknologi gennembrud, sic epitaksial forurening reduceret med 75%?

For nylig har det tyske forskningsinstitut fraunhofer IISB gjort et gennembrud i forskningen og udviklingen afTantalum carbom coating -teknologi, og udviklede en spraybelægningsopløsning, der er mere fleksibel og miljøvenlig end CVD -afsætningsopløsningen, og er blevet kommercialiseret.

Og Domestic Vetek Semiconductor har også foretaget gennembrud på dette felt, se nedenfor for detaljer.

Fraunhofer iisb:

Udvikling af en ny TAC -belægningsteknologi

Den 5. marts ifølge medierne "Forbindelse halvleder", Fraunhofer IISB har udviklet en nyTantalum Carbom (TAC) belægningsteknologi-Taccotta. Teknologilicensen er overført til Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), og NKCG er begyndt at tilvejebringe TAC-coatede grafitdele til deres kunder.

Den traditionelle metode til produktion af TAC -belægninger i branchen er kemisk dampaflejring (CVD), der står over for ulemper, såsom høje produktionsomkostninger og lange leveringstider. Derudover er CVD -metoden også tilbøjelig til at revne TAC under gentagen opvarmning og afkøling af komponenter. Disse revner udsætter den underliggende grafit, der forringes alvorligt over tid og skal udskiftes.

Innovationen af ​​taccotta er, at den bruger en vandbaseret spraybelægningsmetode efterfulgt af temperaturbehandling til at danne en TAC-belægning med høj mekanisk stabilitet og justerbar tykkelse på denGrafitsubstrat. Belægningens tykkelse kan justeres fra 20 mikron til 200 mikron, der passer til forskellige påføringskrav.

TAC -processteknologien udviklet af Fraunhofer IISB kan justere de krævede belægningsegenskaber, såsom tykkelse, som vist nedenfor i området 35 um til 110 μm.

Specifikt har Taccotta -spraybelægning også følgende nøglefunktioner og fordele:

● Mere miljøvenlig: Med vandbaseret spraybelægning er denne metode mere miljøvenlig og let at industrialisere;

● Fleksibilitet: Taccotta -teknologi kan tilpasse sig komponenter i forskellige størrelser og geometrier, hvilket tillader delvis belægning og renovering af komponent, hvilket ikke er muligt i CVD.

● Reduceret tantalforurening: Grafitkomponenter med taccotta -belægning bruges i sic epitaksial fremstilling, og tantalforurening reduceres med 75% sammenlignet med eksisterendeCVD -belægninger.

● Slidbestandighed: Scratch -test viser, at forøgelse af belægningstykkelsen kan forbedre slidstyrke.

Scratch Test

Det rapporteres, at teknologien er blevet forfremmet til kommercialisering af NKCG, et joint venture, der fokuserer på at tilvejebringe højtydende grafitmaterialer og relaterede produkter. NKCG vil også deltage i udviklingen af ​​taccotta -teknologi i lang tid i fremtiden. Virksomheden er begyndt at levere grafitkomponenter baseret på taccotta -teknologi til deres kunder.

Vetek Semiconductor fremmer lokaliseringen af ​​TAC

I begyndelsen af ​​2023 lancerede Vetek Semiconductor en ny generation afSic krystalvækstTermisk feltmateriale-Porøst tantalcarbid.

Ifølge rapporter har Vetek Semiconductor lanceret et gennembrud i udviklingen afPorøst tantalcarbidmed stor porøsitet gennem uafhængig teknologiforskning og udvikling. Dens porøsitet kan nå op til 75%og opnå international ledelse.