Sic coating samler bund

Vetek Semiconductor er producent, der er forpligtet til at levere høj kvalitetCVD TAC -belægningog CVD Sic Coating Collector bund og arbejder tæt sammen med Aixtron -udstyr for at imødekomme vores kunders behov. Uanset om det er i procesoptimering eller udvikling af nyt produkt, er vi klar til at give dig teknisk support og besvare eventuelle spørgsmål, du måtte have.

Produktkernefunktion

Processtabilitetsgaranti

Temperaturgradientkontrol: ±1,5℃/cm@1200℃

Flowfeltoptimering: Det specielle kanaldesign gør reaktionsgasfordelingens ensartethed op til 92,6%

Udstyrsbeskyttelsesmekanisme

Dobbelt beskyttelse:

Termisk chokbuffer: Modstå 10 ℃/s hurtig temperaturændring

Partikelaflytning: fældning> 0,3 μm sedimentpartikler

Inden for avanceret teknologi

Hele proceskvalitetskontrol

Produktions sporbarhedssystem

Kilde til råvarer: Tokai/Toyo Graphite fra Japan, SGL -grafit fra Tyskland

Digital tvillingovervågning: Hver komponent matches til en uafhængig procesparameterdatabase

Applikationsscenarie:

Tredje generation af halvlederproduktion

Scenario: 6-tommer SIC Epitaxial Growth (100-150 μm tykkelseskontrol)

Kompatibel model: Aixtron G5 WW/Crius II

Ved at bruge Aixtron Sic Coated Collector Top, Collector Center og SIC Coated Collector, Termal Management og Chemical Protection i halvlederfremstillingsprocesser kan opnås, kan filmvækstmiljøet optimeres, og filmens kvalitet og konsistens kan forbedres. Kombinationen af ​​disse komponenter i Aixtron -udstyr sikrer stabile procesbetingelser og effektiv halvlederproduktion.

SEM -data fra CVD Sic Film