Siliciumcarbid keramisk waferbåd

Fordelene ved at bruge veteksemi siliciumcarbid keramisk waferbåd

● Modstand til meget høj temperatur til 3000 F (1650 ℃）

●  Super korrosionsbestandighed over for  syrer, opløsningsmidler, salte og organiske stoffer, slidbestandig  

●  Nem at rengøre

● Stærk påvirkningsmodstand

●  Slip gratis

VeTek Semiconductor-fremstillingsindustrien behandler typisk disse wafere i enten horisontale Wafer-bærere eller vertikale bærere.

●  Den vandrette holder, typisk kaldet en "båd", har tre eller fire vandret anbragte stænger arrangeret i en halvcirkeldesign, hvor hver stang har indadvendende riller sat deri med regelmæssige intervaller. Hvert sæt riller definerer et lodret rum til at bære en lodret anbragt wafer.

●  Den lodrette bærer, typisk kaldet et "lodret rack", har tre eller fire lodret disponerede stænger (eller stillinger) arrangeret i et halvcirkeldesign, hvor hvert indlæg har slots, der er indstillet deri med regelmæssige intervaller for at definere et rum til understøttelse af en vandret bortskaffet wafer.

For at sikre den geometriske præcision, der kræves i dette felt, er de tre eller fire stænger fastgjort til en topplade og en bundplade. Delene af stolpen mellem hver spalte, benævnt "tænder", er anbragt identisk for at understøtte wafers med regelmæssige intervaller fra og parallelt med bundpladen. Hele stativet placeres derefter i en lodret ovn til behandling af waferne.

Fordi en skive, der er behandlet på et lodret rack, oplever mindre af en temperaturgradient over dens ansigt (sammenlignet med en skive, der er behandlet i en vandret båd), vender halvlederproducenter i stigende grad til lodrette ovne. Der er dog en ulempe ved lodret møbler. De skiver, der er bortskaffet på et konventionelt lodrette rack, understøttes kun ved deres udvendige kant. Som sådan oplever områderne med skiven, der hviler på disse tænder, højere stress end resten af ​​skiven.

Når temperaturerne i ovnen overstiger ca. 1000 ° C, bliver disse spændinger ofte betydelige, og dele af den enkelte krystalskive bevæger sig i forhold til hinanden langs krystallografiske plader som respons på denne stress. Dette fænomen, kaldet "slip", ødelægger effektivt værdien af ​​halvlederenhederne placeret i området med skiven, hvor slip har fundet sted.

Som en førende leverandør og producent af siliciumcarbid keramisk waferbåd i Kina, har VeTek Semiconductor altid været forpligtet til at levere avanceret teknologi og Wafer Boat-produktløsninger til halvlederbearbejdningsindustrien. Vi ser oprigtigt frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Det halvlederSiliciumcarbid keramiske wafer bådproduktionsbutikker: