Produkter
Aixtron G5+ loftskomponent
  • Aixtron G5+ loftskomponentAixtron G5+ loftskomponent

Aixtron G5+ loftskomponent

Vetek Semiconductor er blevet en leverandør af forbrugsstoffer til mange MOCVD -udstyr med sine overlegne behandlingsfunktioner. Aixtron G5+ loftkomponent er et af vores seneste produkter, som er næsten den samme som den originale Aixtron -komponent og har modtaget god feedback fra kunder. Hvis du har brug for sådanne produkter, skal du kontakte Vetek Semiconductor!

Galliumnitrid (GAN) er et bredt båndmismateriale med fremragende fysiske egenskaber, såsom høj elektronmobilitet, elektrisk felt med høj nedbrydning og elektronhastighed med høj mætning. Det er vidt brugt i optoelektroniske enheder (såsom lysemitterende dioder, laserdioder) og højfrekvente elektroniske enheder med høj effekt (såsom effektforstærkere). Silicon (SI) er et almindeligt anvendt halvledersubstratmateriale med fordelene ved lave omkostninger, stor størrelse og kompatibilitet med eksisterende siliciumbaserede integrerede kredsløbsprocesser. Derfor er voksende gan -epitaksiale lag på SI et meget værdifuldt forskningsemne. Aixtron G5+ -serien er en af ​​de hotteste SI-baserede GaN-epitaksiale vækstudstyr i øjeblikket, som har mange vigtige komponenter, og loftkomponenten er en af ​​de vigtige komponenter.


Aixtron G5+ ceiling working diagram

AIXTRON G5+ loftkomponenten er lavet af SGL -grafit. Hovedfunktionen er at kontrollere temperaturen og sikre den laveste varmestrøm gennem skiven.


 Temperaturuniformitetskontrol: 

AIXTRON G5+ loftskomponent hjælper med at opnå ensartet temperaturfordeling gennem reaktionskammeret. I den halvlederpitaksiale vækstproces er temperaturuniformitet afgørende for dyrkning af epitaksiale lag af høj kvalitet. Det sikrer, at den samme overfladetemperatur kan opnås på alle skiver eller satellitkomponenter og derved sikre konsistensen af ​​vækstraten og kvaliteten af ​​det epitaksiale materiale på alle steder og derved forbedre procesudbyttet.


 Optimer vækstmiljøet: 

Som en del af reaktionskammeret danner AIXTRON G5+ loftkomponenten et stabilt vækstmiljø sammen med andre komponenter. Det kan reducere varmetab og gøre temperaturen i reaktionskammeret mere stabil, hvilket er befordrende for nøjagtigt at kontrollere betingelserne for epitaksial vækst og reducere epitaksiale lagfejl og ydeevne ikke-ensartethed forårsaget af temperaturfluktuationer.


Aixtron G5+ loftkomponent er et af mainstream -produkterne i branchen, der blev lanceret af Vetek Semiconductor. Valg af Vetek Semiconductor betyder at samarbejde med et firma, der er forpligtet til at skubbe grænserne for siliciumkarbidbelægningsinnovation. Med en stærk vægt på kvalitet, ydeevne og kundetilfredshed leverer vi produkter, der ikke kun imødekommer men overskrider de strenge krav fra halvlederindustrien. Lad os hjælpe dig med at opnå større effektivitet, pålidelighed og succes i dine operationer med vores avancerede Aixtron G5+ loftkomponentløsninger.

Materielle data af SGL 6510 grafit:

Typiske egenskaber
Enheder
Teststandarder
Værdier
Gennemsnitlig kornstørrelse
μm
ISO 13320
10
Bulkdensitet
g/CM3
Fra IEC 60413/204
1.83
Åben porøsitet
Bind%
Fra 66133
10
Medium pore indgangsdiameter
μm
Fra 66133
1.8
Permeabilitetskoefficient (omgivelsestemperatur)
CM2/s
Fra 51935
0.06
Rockwell Hardness HR5/100
\ Fra IEC 60413/303
90
Resistivitet
μωm
Fra IEC 60413/402
13
Bøjningsstyrke
MPA
Fra IEC 60413/501
60
Trykstyrke
MPA
Fra 51910
130
Dynamisk modul af elasticit
MPA
Fra 51915
11,5 x 103
Termisk ekspansion (20-200 ℃)
K-1
Fra 51909
4.2x10-6
Termisk ledningsevne (20 ℃)
Wm-1K-1
Fra 51908
105
Askeindhold
ppm
Fra 51903
\

Det halvlederAixtron G5+ loftkomponentprodukter butikker

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


Hot Tags: Aixtron G5+ loftskomponent
Send forespørgsel
Kontaktoplysninger
For forespørgsler om siliciumcarbidbelægning, tantalcarbidbelægning, speciel grafit eller prisliste, bedes du efterlade din e-mail til os, og vi vil kontakte os inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept