CVD SiC Coating Grafit dele rengøringsservice

1. Udfordringer, du måske står over for

• AlN-lag svært at fjerne:1300°C termisk rengøring kan stadig ikke effektivt ætse resterende AlN-lag.

• Tilbagevendende hukommelseseffekt:Overfladehukommelseseffekt forårsager ustabil gasstrøm i reaktoren, hvilket påvirker proceskonsistensen.

• Rengøringscyklus Impacts gennemløb:Typisk kræver hver 16. procescyklus (4-5 susceptorer) ekstern rengøring.

• Bekymring om skadelig kostbar belægning:Mangel på intern erfaring med kemisk rengøring gør, at operatører tøver med at forsøge aggressiv rengøring.

2. Vores løsning – Designet til GaN / AlN / AlGaN processer

• Professionel rengøring:Skræddersyet proces specielt udviklet til CVD SiC-belagte grafitdele. Der kræves ingen kemisk formel fra kunden.

• Belægningssikkerhed:Beskytter strengt 100 µm CVD SiC-belægningen. Absolut nul tykkelsestab efter rengøring.

• Verificerbare resultater:Fuldt analysecertifikat (COA), der dækker fem kernedimensioner. Data klar til arkivering og kvalitetsrevision.

3. Fem centrale acceptkriterier

Strengt tilpasset de kritiske krav fra halvlederepitaksibrugere:

1. Nul belægningstab– SiC-belægningstykkelsen reduceres aldrig efter rengøring (verifikation før/efter tykkelsessammenligning).

2. Ingen overfladedeformation– Fladhed og geometrisk nøjagtighed er nøje inspiceret for at sikre ingen fysisk deformation.

3. Eliminer hukommelseseffekten– XPS-analyse for Al/Ga-rester bekræfter grundig fjernelse af hukommelseseffektkilder.

4. Nul metalrester– ICP-MS-testning for Fe, Cu, Ni og andre metaller verificerer nul resterende metalliske urenheder.

5. Ingen overskydende partikler– QIII-partikeltest plus renhedsverifikation forhindrer gasstrømningsustabilitet forårsaget af resterende partikler.

4. Leveringsinspektion & COA-rapport

Hver batch leveres med fuld verifikationsdata på tværs af fem kernedimensioner:

5. Gældende produkter og procesbaggrund

Produktparametre

Serviceproces

1. Forespørgsel– Send delbilleder / model / antal til vurdering.

2. Tilbud– Teknisk vurdering og detaljeret rengøringsforslag med tilbud.

3. Forsendelse– Send dele til os eller arrangere afhentningsservice.

4. Rengøring– Professionel rengøring + fuld multi-dimension inspektion.

5. Rapport– COA-rapport udstedt og rengjorte dele returneret.

6. Opfølgning– Effektsporing og løbende teknisk support.

6. Hvorfor vælge VETEK Rengøring?

VETEK kombinerer dyb ekspertise inden for CVD SiC-belægningsteknologi med specialiserede renseegenskaber for højværdi grafitsusceptorer. Vi forstår den kritiske betydning af belægningsintegritet, partikelkontrol og procesrenhed i GaN/AlN-epitaksi. Vores service er designet til kunder, der kræver absolut sikkerhed for dyre CVD SiC-belægninger, mens de fuldstændig løser problemer med hukommelseseffekt og gasflow-ustabilitet.

· Prøverengøring tilgængelig for kontrol af små partier

· Fuld COA-rapport leveres med hver levering

· Ingen risiko for belægningsskader eller ny forurening

· Professionel · Sikker · Verificerbar