Kvartsbåd med høj renhed

Kvartsbåde med høj renhed er præcisionsbærere lavet af ultrahøj renhedskvartsmaterialer (SIO₂-indhold ≥ 99,99%), designet til høje temperatur, højrensitetsprocesser. Denne enhed er vigtig for processer som udglødning, diffusion, oxidation og kemisk dampaflejring (CVD) og er vidt brugt i halvledere, fotovoltaik og andre felter. Dens kernefordel ligger i den fysiske og kemiske stabilitet af selve materialet.

Ⅰ. Fremragende fysiske egenskaber ved Veteksemicon højrulitetskvartsbåd

Ⅱ. Hovedbrug og tilsvarende produktfordele ved høj renhedskvartsbåd

1. halvlederfremstilling:

Specifikke anvendelser: Carrier-værktøjer i wafer-høj temperaturdiffusion, oxidation, annealing og CVD (kemisk dampaflejring) processer.

Produktfordele:

● Ultra-lav forurening: Veteksemicons 99,99% rene waferbåde undgår metalionforurening og sikrer chip -elektrisk ydeevne.

● Præcis størrelse: Fladheden i kvarts wafer-båden er ± 0,05 mm, hvilket sikrer ensartet opvarmning af skiven (såsom en 12-tommer wafer-båd).

● Lang levetid: I henhold til de faktiske produktionsdata, vi har registreret, kan de kvarts wafer -både, vi producerer, bruges kontinuerligt i mere end 1000 timer ved 1200 ° C, hvilket reducerer udskiftningsfrekvensen i høj grad (sammenlignet med almindelige kvartsbåde, øges livet med 3 gange).

2. Fotovoltaisk industri

Specifikke anvendelser: Inden for fremstilling af fotovoltaisk industri bruges normalt højrulitetskvartsbåde til siliciumskiver i fosfordiffusionen af ​​PERC-celler og borediffusionsprocessen for topconceller.

Ydelsesfordele:

● Høj belastningsdesign: Den enkelte båd, vi producerer, kan bære 200 ~ 300 siliciumskiver (tykkelse 160 ~ 180μm), hvilket forbedrer skivens produktionskapacitet pr. Enhedstid.

● Hurtig temperaturstigning og fald: Ultra-lav termisk ekspansionskoefficient (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), tæt på nuludvidelse) understøtter en 10% ~ 15% reduktion i procescyklus.

● Anti-PID-effekt: Ingen natriumionudfældning under siliciumskivebelastningsprocessen reducerer risikoen for fotoinduceret nedbrydning.

Ⅲ. Kvarts bådemballagespecifikationer

Veteksemicon Quartz-både bruger flerlags tæt emballage for at sikre produktets integritet under opbevaring og transport.

På samme tid understøtter Veteksemincon tilpasset udvidet procesdesign, såsom ikke-standard størrelse (fejl ± 0,1 mm), flerlags stablingsdesign (op til 5 lag) og høj temperaturresistent filmbelægning (såsom SIC-belægning). Velkommen din yderligere konsultation.