Halvlederklasse kvarts klokke krukke

Halvlederkvartskvarts Bell Jar er lavet af kvartsmateriale med høj renhed. Det har fremragende termisk stabilitet og stærk korrosionsbestandighed og bruges på mange områder. I halvlederindustrien: Semiconductor Grade Quartz Bell Jar tilvejebringer et kontrolleret miljø til tynd filmaflejring på skiver under kemisk dampaflejring (CVD). Halvlederkvartskvarts Bell Jar bruges også i processer, der kræver vakuumteknologi, såsom produktion af optiske belægninger, metalbelægninger og andre typer tynde filmmaterialer. Semiconductor Grade Quartz Bell Jar er også nødvendig i mange fysiske og materielle videnskabelige eksperimenter, der kræver en høj renhed, vakuumforseglet miljø.

Halvlederindustriens brugsscenarier:

Polysilicon er et siliciummateriale sammensat af mange små korn, som er vidt brugt i integrerede kredsløb, solceller og andre felter. Kemisk dampaflejring (CVD) er en af ​​de vigtigste metoder til at fremstille polykrystallinsk silicium. Det grundlæggende princip er, at siliciumkildens gas, såsom SIH4, nedbrydes ved høj temperatur og deponeres på underlaget for at danne polykrystallinsk silicium ：

SiHCl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Under høje temperatur- og vakuumbetingelser blev siliciumkildens gas ført ind i den kemiske dampaflejring. Polykrystallinsk silicium opnås endelig. Semiconductor -kvalitetskvarts -klokkebeholderen er en vigtig del af den polykrystallinske silicium CVD -reaktor.

Polykrystallinsk silicium CVD -reaktor

Under højtemperaturreaktionen af ​​CVD kan Semiconductor Grade Quartz Bell Jar give et ensartet termisk miljø. Højtemperaturbestandigheden af ​​High Purity Quartz-materiale (kan modstå temperaturer op til ca. 1100°C) gør det muligt at arbejde stabilt i CVD-reaktioner og sikre ensartet temperaturfordeling i reaktionsområdet. I CVD-processen er der mange giftige gaskomponenter, såsom PH3 osv. Halvlederkvalitet Quartz Bell Jar kan effektivt isolere de kemiske gasser i reaktionskammeret fra det ydre miljø for at forhindre skadelig gaslækage. Korrosionsbestandigheden af ​​High Purity Quartz-materiale gør det også muligt for andre materialer at arbejde stabilt i lang tid under CVD-processen og er ikke let korroderede eller beskadigede.

Kvartsklokkeglasset bruges i forbindelse med kvartsvarmebevaringsrøret og den lodrette kvartsbåd og bruges mest i den epitaksiale proces med halvleder-integreret kredsløbschipproduktion. Den epitaksiale ovn antager generelt en lodret struktur med kvartsklokkeglasset på ydersiden af ​​den lodrette kvartsbåd og kvartsvarmekonserveringsrøret som en støtte.

En anden typisk anvendelse af Semiconductor Grade Quartz Bell Jar i højtemperaturmiljøer: At opvarme et parti ortodontiske dele til 704 ℃ inden for 1 sekund i en inert atmosfære til lodning:

VeTek Semiconductor har et modent teknisk team. Uanset hvilken form eller materiale af High Purity Quartz Bell Jar du har brug for, kan vi skræddersy den til dig.

VeTek Semiconductor-produkter butikker: