SIC ICP -ætsningsplade

ICP-ætsning (induktivt koblet plasma-ætsning) teknologi er en præcisions-ætsningsproces i halvlederfremstilling, ofte brugt til højpræcisions- og højkvalitetsmønsteroverførsel, især egnet til dybhul ætsning, mikro-mønsterbehandling osv.

SemiconSic ICP-ætsningsplade er specielt designet til ICP-proces ved hjælp af SIC-materialer af høj kvalitet og kan give fremragende ydelse i høje temperatur, stærke ætsende og høje energimiljøer. Som en nøglekomponent til leje og støtte,ICP -ætsningPlade sikrer stabilitet og effektivitet under ætsningsprocessen.

SIC ICP -ætsningspladeProduktfunktioner

● Tolerance med høj temperatur

SIC ICP -ætsningsplade kan modstå temperaturændringer op til 1600 ° C, hvilket sikrer stabil anvendelse i ICP -ætsemiljøet med høj temperatur og undgår deformation eller ydelsesnedbrydning forårsaget af temperatursvingninger.

●  Fremragende korrosionsbestandighed

Siliciumcarbidmaterialekan effektivt modstå stærkt ætsende kemikalier, såsom hydrogenfluorid, hydrogenchlorid, svovlsyre osv., Der kan udsættes under ætsning, hvilket sikrer, at produktet ikke er beskadiget under langvarig brug.

●  Lav termisk ekspansionskoefficient

SIC ICP -ætsningsplade har en lav termisk ekspansionskoefficient, som kan opretholde god dimensionel stabilitet i miljø med høj temperatur, reducere stress og deformation forårsaget af temperaturændringer og sikre en nøjagtig ætsningsproces.

●  Høj hårdhed og slidstyrke

SIC har en hårdhed på op til 9 MOHS -hårdhed, hvilket effektivt kan forhindre mekanisk slid, der kan forekomme under ætsningsprocessen, udvide levetiden og reducere udskiftningsfrekvensen.

● eXcellent termisk ledningsevne

Fremragende termisk ledningsevne sikrer, atSic bakkeKan hurtigt sprede varme under ætsningsprocessen, undgå lokale temperaturstigninger forårsaget af varmeakkumulering og derved sikre stabiliteten og ensartetheden af ​​ætsningsprocessen.

Med støtte fra et stærkt teknisk team har Veteksemicon SIC ICP ætsningsbakke afsluttet forskellige vanskelige projekter og leverer tilpassede produkter i henhold til dine behov. Vi ser frem til din forespørgsel.

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SIC: