Sic coated dyb UV -LED -susceptor

Sic Coated Deep UV LED -følger er den kernebærende komponent iMOCVD (Metal Organic Chemical Damp Deposition) udstyr. Superceptoren påvirker direkte ensartethed, tykkelseskontrol og materialekvalitet i dyb UV -LED -epitaksial vækst, især i væksten af ​​aluminiumnitrid (ALN) epitaksiallag med højt aluminiumsindhold, er følsomhedens design og ydeevne afgørende.

SIC Coated Deep UV LED -følger er specielt optimeret til dyb UV -LED -epitaxy og er nøjagtigt designet baseret på termiske, mekaniske og kemiske miljøegenskaber for at imødekomme strenge procesbehov.

Vetek Semiconductor bruger avanceret behandlingsteknologi til at sikre ensartet varmefordeling af følsomheden inden for driftstemperaturområdet og undgå ikke-ensartet vækst af det epitaksiale lag forårsaget af temperaturgradient. Præcisionsbehandling kontrollerer overfladegruppe, minimerer partikelforurening og forbedrer den termiske ledningsevneffektivitet ved Wafer Surface -kontakt.

Vetek Semiconductor bruger SGL -grafit som materiale, og overfladen behandles medCVD SIC -belægning, som kan modstå NH3, HCL og høj temperaturatmosfære i lang tid. Vetek Semiconductors sic coatede dybe UV -LED -susceptor matcher den termiske ekspansionskoefficient for ALN/GaN -epitaksiale skiver, reducerer wafer -fordrejning eller revner forårsaget af termisk stress under processen.

Det vigtigste er, at Vetek Semiconductors SIC Coated Deep UV LED -følger perfekt tilpasser sig til mainstream MOCVD -udstyr (inklusive Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius osv.). Understøtter tilpassede tjenester til waferstørrelse (2 ~ 8 tommer), Wafer Slot -design, processtemperatur og andre krav.

Applikationsscenarier:

● Dyb UV -LED -forberedelse: Gælder for den epitaksiale enhedsproces i båndet under 260 nm (UV-C-desinfektion, sterilisering og andre felter).

● Nitrid halvleder epitaxy: Bruges til epitaksial fremstilling af halvledermaterialer såsom galliumnitrid (GAN) og aluminiumsnitrid (ALN).

● Epitaksiale eksperimenter på forskningsniveau: Dyb UV -epitakse og nye materielle udviklingseksperimenter på universiteter og forskningsinstitutioner.

Med støtte fra et stærkt teknisk team er Vetek Semiconductor i stand til at udvikle følgere med unikke specifikationer og funktioner i henhold til kundebehov, understøtte specifikke produktionsprocesser og levere langsigtede tjenester.

SEM -data fra CVD Sic Coating Film:

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SIC -belægning:

Det halvlederSIC Coated Deep UV LED SUSCEPTOR Produktbutikker: