Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Solid siliciumcarbid

VeTek Semiconductor Solid Silicium Carbide er en vigtig keramisk komponent i plasmaætsningsudstyr, fast siliciumcarbid (CVD siliciumcarbid) dele i ætseudstyret omfatterfokusringe, gasbrusehoved, bakke, kantringe osv. På grund af den lave reaktivitet og ledningsevne af fast siliciumcarbid (CVD siliciumcarbid) til klor- og fluorholdige ætsegasser, er det et ideelt materiale til plasmaætsningsudstyr, der fokuserer ringe og andre komponenter.


For eksempel er fokusringen en vigtig del placeret uden for waferen og i direkte kontakt med waferen, ved at påføre en spænding til ringen for at fokusere plasmaet, der passerer gennem ringen, og derved fokusere plasmaet på waferen for at forbedre ensartetheden af forarbejdning. Den traditionelle fokusring er lavet af silicium elkvarts, ledende silicium som et almindeligt fokusringmateriale, det er næsten tæt på ledningsevnen af ​​siliciumwafers, men manglen er dårlig ætsningsmodstand i fluorholdigt plasma, ætsemaskinedele materialer, der ofte bruges i en periode, vil der være alvorlige korrosionsfænomen, hvilket alvorligt reducerer dets produktionseffektivitet.


Solid SiC Focus RingArbejdsprincip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Sammenligning af Si-baseret fokusring og CVD SiC-fokusring:

Sammenligning af Si-baseret fokusring og CVD SiC-fokusring
Punkt Og CVD SiC
Densitet (g/cm3) 2.33 3.21
Båndgab (eV) 1.12 2.3
Termisk ledningsevne (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastisk modul (GPa) 150 440
Hårdhed (GPa) 11.4 24.5
Modstandsdygtighed over for slid og korrosion Dårlig Fremragende


VeTek Semiconductor tilbyder avancerede solide siliciumcarbiddele (CVD siliciumcarbid) såsom SiC-fokusringe til halvlederudstyr. Vores fokusringe af massivt siliciumcarbid udkonkurrerer traditionelt silicium med hensyn til mekanisk styrke, kemisk resistens, termisk ledningsevne, holdbarhed ved høje temperaturer og ionætsningsbestandighed.


Nøglefunktioner i vores SiC-fokusringe inkluderer:

Høj densitet for reducerede ætsningshastigheder.

Fremragende isolering med et højt båndgab.

Høj varmeledningsevne og lav varmeudvidelseskoefficient.

Overlegen mekanisk slagfasthed og elasticitet.

Høj hårdhed, slidstyrke og korrosionsbestandighed.

Fremstillet vhaplasma-forstærket kemisk dampaflejring (PECVD)teknikker opfylder vores SiC-fokusringe de stigende krav til ætsningsprocesser i halvlederfremstilling. De er designet til at modstå højere plasmaeffekt og energi, specielt ikapacitivt koblet plasma (CCP)systemer.

VeTek Semiconductors SiC-fokusringe giver enestående ydeevne og pålidelighed ved fremstilling af halvlederenheder. Vælg vores SiC-komponenter for overlegen kvalitet og effektivitet.


View as  
 
CVD SIC -blok for SIC -krystalvækst

CVD SIC -blok for SIC -krystalvækst

CVD SIC -blok for SIC -krystalvækst er et nyt råmateriale med høj renhed udviklet af Vetek Semiconductor. Det har et højt input-output-forhold og kan dyrke siliciumcarbid-siliciumcarbid-siliciumcarbid-enkeltkrystaller, som er et anden generation af materiale til at erstatte det pulver, der bruges på markedet i dag. Velkommen til at diskutere tekniske problemer.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Sic krystalvækst ny teknologi

Sic krystalvækst ny teknologi

Vetek Semiconductors ultrahøj renhed siliciumcarbid (SIC) dannet ved kemisk dampaflejring (CVD) anbefales til at blive brugt som kildemateriale til dyrkning af siliciumcarbidkrystaller ved fysisk damptransport (PVT). I SIC -krystalvækst ny teknologi indlæses kildematerialet i en digel og sublimeres på en frøkrystall. Brug CVD-SIC-blokke med høj renhed til at være som kilde til dyrkning af SIC-krystaller. Velkommen til at etablere et partnerskab med os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
CVD SIC Bruser Head

CVD SIC Bruser Head

Vetek Semiconductor er en førende CVD SIC -bruserhovedproducent og innovatør i Kina. Vi er blevet specialiseret i SIC -materiale i mange år. CVD SIC Bruser Head vælges som et fokuseringsringmateriale på grund af dets fremragende termokemiske stabilitet, høj mekanisk styrke og modstand mod plasma erosion. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Sic bruserhoved

Sic bruserhoved

Vetek Semiconductor er en førende producent af SIC-bruserhoved og innovatør i Kina. Vi er blevet specialiseret i SIC-materiale i mange år. SSIC Bruser Head vælges som et fokuseringsringmateriale på grund af dets fremragende termokemiske stabilitet, høj mekanisk styrke og modstand mod plasma-erosion. Vi ser frem til at blive din langvarige partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Solid SiC gas brusehoved

Solid SiC gas brusehoved

Solid SiC Gas Brusehoved spiller en stor rolle i at gøre gassen ensartet i CVD-processen og sikrer derved ensartet opvarmning af substratet. VeTek Semiconductor har været dybt involveret inden for solid SiC-enheder i mange år og er i stand til at give kunderne skræddersyede Solid SiC-gasbrusehoveder. Uanset hvad dine krav er, ser vi frem til din henvendelse.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Kemisk dampaflejringsproces Fast Sic Edge Ring

Kemisk dampaflejringsproces Fast Sic Edge Ring

Vetek Semiconductor har altid været forpligtet til forskning og udvikling og fremstilling af avancerede halvledermaterialer. I dag har Vetek Semiconductor gjort store fremskridt inden for kemisk dampaflejringsproces Solid Sic Edge Ring -produkter og er i stand til at give kunderne stærkt tilpassede faste sic kantringe. Fast SIC -kantringe giver bedre ætsning ensartethed og præcis skivepositionering, når den bruges sammen med en elektrostatisk chuck, hvilket sikrer ensartede og pålidelige ætsningsresultater. Ser frem til din forespørgsel og bliver hinandens langsigtede partnere.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Solid siliciumcarbid producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Solid siliciumcarbid lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Silicon (SI) Epitaxy Preparch Technology
Silicon (SI) Epitaxy Preparch TechnologySe mere >>
Hvad er en kvartsbåd?
Hvad er en kvartsbåd?Se mere >>
Italiens LPE's 200 mm SiC epitaksiale teknologi fremskridt
Italiens LPE's 200 mm SiC epitaksiale teknologi fremskridtSe mere >>
Hvad er en epi -epitaksial ovn? - Vetek Semiconductor
Hvad er en epi -epitaksial ovn? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvad er siliciumcarbid keramik?
Hvad er siliciumcarbid keramik?Se mere >>
Hvad er TAC -belægning? - Vetek Semiconductor
Hvad er TAC -belægning? - Vetek SemiconductorSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept