Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Fast siliciumcarbid

Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide er en vigtig keramisk komponent i plasma -ætsningsudstyr, fast siliciumcarbid (CVD -siliciumcarbid) dele i ætsningsudstyret inkludererFokuseringsringe, Gasbrushead, bakke, kantringe osv. På grund af den lave reaktivitet og ledningsevne af fast siliciumcarbid (CVD -siliciumcarbid) til chlor - og fluorholdige ætsningsgasser er det et ideelt materiale til plasma -ætsningsudstyr, der fokuserer ringe og andre komponenter.


F.eks. Er fokusringen en vigtig del placeret uden for skiven og i direkte kontakt med skiven ved at påføre en spænding på ringen for at fokusere plasmaet, der passerer gennem ringen og derved fokuserer plasmaet på skiven for at forbedre den ensartethed i behandlingen. Den traditionelle fokusring er lavet af silicium ellerkvarts, ledende silicium som et almindeligt fokusringmateriale, det er næsten tæt på ledningsevnen af ​​siliciumskiver, men manglen er dårlig ætsemodstand i fluorholdige plasma, ætsemaskinsdele materialer, der ofte bruges i en periode, vil der være alvorlig korrosionsfænomen, hvilket alvorligt reducerer dets produktionseffektivitet.


Solid sic fokusringArbejdsprincip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Sammenligning af SI -baseret fokuseringsring og CVD SIC -fokuseringsring ：

Sammenligning af SI -baseret fokuseringsring og CVD SIC -fokuseringsring
Punkt Og CVD SIC
Densitet (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Termisk ledningsevne (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastisk modul (GPA) 150 440
Hårdhed (GPA) 11.4 24.5
Modstand mod slid og korrosion Dårlig Fremragende


Vetek Semiconductor tilbyder avanceret fast siliciumcarbid (CVD -siliciumcarbid) dele som SIC -fokuseringsringe til halvlederudstyr. Vores faste siliciumcarbidfokuseringsringe er bedre end traditionel silicium med hensyn til mekanisk styrke, kemisk resistens, termisk ledningsevne, holdbarhed med høj temperatur og ion ætsningsmodstand.


Nøglefunktioner i vores SIC -fokuseringsringe inkluderer:

Høj densitet for reducerede ætsningshastigheder.

Fremragende isolering med et højt bandgap.

Høj termisk ledningsevne og lav koefficient for termisk ekspansion.

Overlegen mekanisk påvirkningsmodstand og elasticitet.

Høj hårdhed, slidstyrke og korrosionsbestandighed.

Fremstillet ved hjælp afPlasma-forbedret kemisk dampaflejring (PECVD)Teknikker, vores SIC -fokuseringsringe imødekommer de stigende krav til ætsningsprocesser inden for fremstilling af halvleder. De er designet til at modstå højere plasmakraft og energi, specifikt iKapacitivt koblet plasma (CCP)Systemer.

Vetek Semiconductors SIC -fokuseringsringe giver enestående ydeevne og pålidelighed inden for fremstilling af halvlederenheden. Vælg vores SIC -komponenter for overlegen kvalitet og effektivitet.


View as  
 
Kemisk dampaflejringsproces Fast Sic Edge Ring

Kemisk dampaflejringsproces Fast Sic Edge Ring

Vetek Semiconductor har altid været forpligtet til forskning og udvikling og fremstilling af avancerede halvledermaterialer. I dag har Vetek Semiconductor gjort store fremskridt inden for kemisk dampaflejringsproces Solid Sic Edge Ring -produkter og er i stand til at give kunderne stærkt tilpassede faste sic kantringe. Fast SIC -kantringe giver bedre ætsning ensartethed og præcis skivepositionering, når den bruges sammen med en elektrostatisk chuck, hvilket sikrer ensartede og pålidelige ætsningsresultater. Ser frem til din forespørgsel og bliver hinandens langsigtede partnere.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Solid SiC Etching Fokusering Ring

Solid SiC Etching Fokusering Ring

Solid SiC Etching Focusing Ring er en af ​​kernekomponenterne i waferætsningsprocessen, som spiller en rolle i fiksering af wafer, fokusering af plasma og forbedring af waferætsningens ensartethed. Som den førende SiC Focusing Ring-producent i Kina har VeTek Semiconductor avanceret teknologi og moden proces og fremstiller Solid SiC Etching Focusing Ring, der fuldt ud opfylder slutkundernes behov i henhold til kundernes krav. Vi ser frem til din henvendelse og til at blive hinandens langsigtede samarbejdspartnere.
Se mere >> Send forespørgsel >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Som professionel Fast siliciumcarbid producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Fast siliciumcarbid lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Hvad er SIC-coated grafitfølsomhed?
Hvad er SIC-coated grafitfølsomhed?Se mere >>
Hvad er porøs grafit? - Vetek Semiconductor
Hvad er porøs grafit? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvad er en epi -epitaksial ovn? - Vetek Semiconductor
Hvad er en epi -epitaksial ovn? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvad er trinstyret epitaksial vækst?
Hvad er trinstyret epitaksial vækst?Se mere >>
Hvad er kernematerialet til SIC -vækst?
Hvad er kernematerialet til SIC -vækst?Se mere >>
Udforskende anvendelse af 3D-printteknologi i halvlederindustrien
Udforskende anvendelse af 3D-printteknologi i halvlederindustrienSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept