Solid Sic Disc-formet brusehoved

Rollen af ​​det faste SIC-skiveformede brusebad i CVD-processen er at fordele reaktionsgassen jævnt over deponeringsområdet, så gassen kan jævnt diffunderes gennem reaktoren for at opnå en flad og ensartet film.

Det faste SIC -brusehoved er indstillet øverst på CVD -ovnen eller i nærheden af ​​gasindløbet. Reaktionsgassen kommer ind i den diskformede struktur gennem de huller, der er fordelt på brusehovedet og diffunderer rundt på overfladen af ​​brusehovedet. Gennem det multiple kanals design og jævnt distribuerede forretninger kan reaktionsgassen flyde jævnt til hele reaktorområdet, undgå koncentration eller turbulens og sikre konsistensen af ​​lagtykkelsen, der er afsat på underlaget.

På samme tid har strukturen af ​​Semiconductor Disc Form Bruser hoved også en diffusionseffekt, som effektivt kan reducere gasens strømningshastighed, så den kan jævnt diffunderes ved dysudløbet og reducere virkningen af ​​lokale gasstrømningsændringer på deponeringseffekten. Det hjælper med at undgå direkte gaspåvirkning på underlaget og forhindre problemet med ujævn afsætning.

Fra materialernes perspektiv er det faste sic gasbrushoved lavet af høj temperaturresistent, korrosionsbestandig og højstyrke fast SIC-materiale med meget høj stabilitet. Det kan fungere stabilt i lang tid i CVD -ovnen og har en lang levetid.

Vetek Semiconductor leverer tilpassede tjenester af høj kvalitet. Formen og hullayoutet af det faste SIC-skiveformede brusehoved kan justeres fleksibelt i henhold til kundens procesbehov for at tilpasse sig forskellige gastyper, strømningshastigheder og afsætningsmaterialer. For forskellige størrelser af reaktorer eller substratstørrelser kan skiveformede brusehoveder med forskellige diametre og hulfordelinger tilpasses til at optimere gasfordelingseffekten.

Vetek Semiconductor har modne processer og avancerede teknologier til solide Sic Semiconductor brusehovedprodukter, hvilket hjælper et stort antal kunder med at opnå kontinuerlige fremskridt i CVD -processer. Vetek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Fysiske egenskaber ved faste SIC

Det halvlederSolid Sic Disc-formede brusehovedproduktionsbutikker