Lodret ovnsikoateret ring

I vertikale ovne er brugen af ​​SiC-belagte ringe en almindelig løsning, hovedsagelig brugt i højtemperatur varmebehandlingsprocesser afhalvlederskiver. Lodrette ovnsikbelagte ringe er højtydende, høje temperaturresistente komponenter, der bruges til at understøtte eller beskytte skivere for at sikre stabiliteten og pålideligheden af ​​processen.

Funktionerne af SiC-belagt ring med vertikal ovn

● Funktioner

Støtterolle. Bruges til at understøtte wafers for at sikre deres stabilitet og nøjagtige placering i højtemperaturovne.

●  Korrosionsbeskyttelse

Undgå, at ætsende gasser eller kemikalier korroderer grundmaterialet.

●  Reducer forureningen

SiC-belægning med høj renhed kan effektivt forhindre partikeludskillelse og forurening af urenheder for at sikre processens renhed.

●  Resistens med høj temperatur

Oprethold fremragende mekaniske egenskaber og dimensionsstabilitet i miljøer med høje temperaturer (normalt over 1000°C).

Funktionerne ved Vertical Furnace SiC-belagt ring

●  Høj hårdhed og styrke

SIC -materialer har fremragende mekanisk styrke og kan modstå høj temperaturstress i ovnen.

●  God termisk stabilitet

SICs høje termiske ledningsevne og lav termisk ekspansionskoefficient hjælper med at reducere termisk stress.

●  Stærk kemisk stabilitet

SiC-belægninger kan modstå korrosion i oxiderende, sure eller alkaliske miljøer.

●  Lav partikelforurening

Den glatte overflade reducerer muligheden for partikelgenerering, som er især velegnet til det ultra-rene miljø inden for halvlederproduktion.

Anvendes til diffusion, oxidation, udglødning og andre processer i vertikale ovne for at understøtte siliciumwafers og forhindre partikelforurening under varmebehandling.

Fremstillingsmateriale og processer

●  Substrat: Lavet af højkvalitets SGL-grafit, kvaliteten er garanteret.

● Belægning: Siliciumcarbidbelægning påføres grafitoverfladen ved kemisk dampaflejring (CVD).

●  Belægningstykkelsen er normalt mellem 50~500μm, hvilket justeres i henhold til brugskravene.

●  Den kemiske dampaflejring SiC-belægning har højere renhed og tæthed og bedre holdbarhed.

Vælg det passendeSic coatingRing i henhold til diameteren af ​​siliciumskiven i ovnen og bærespecifikationerne. Vi kan tilpasse det til dig. Høj renhed, tæt belægning er mere holdbar og mindre forurenende. Regulært udskift i henhold til hyppigheden af ​​brug og procesbehov for at undgå forurening eller understøttelsesfejl på grund af belægningens aldring.

Som en professionel lodret ovn, som SIC Coated Ring -leverandør og producent i Kina, har Vetek Semiconductor længe været forpligtet til at levere avanceret lodret ovnteknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser oprigtigt frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

CVD SIC FILM KRYSTAL STRUKTUR

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning

Det halvlederLodret ovn Sic Coated Ring Shops: